磁控濺射鍍膜機(jī) NSC-3500（M）實(shí)驗(yàn)室研發(fā)用磁控濺射系統(tǒng)

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晶圓清洗設(shè)備 SWC-4000兆聲晶圓（掩模版）清洗機(jī)

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SWC-4000兆聲晶圓（掩模版）清洗機(jī)

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NLD-4000（A）全自動原子層沉積系統(tǒng)

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NIE-4000（M）IBE離子束刻蝕

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NDR-4000（A）全自動DRIE深反應(yīng)離子刻蝕

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NRE-3500（M）反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

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勻膠機(jī)/旋涂儀 Spin Coater 優(yōu)選Ossila 進(jìn)口性價(jià)比好 性能穩(wěn)定

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美國進(jìn)口 光學(xué)輪廓儀 Zeta-300 多模式三維光學(xué)輪廓儀

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高精度光學(xué)輪廓儀 Zeta-20 多模式三維光學(xué)輪廓儀

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KLA光學(xué)輪廓儀 Profilm 3D 白光干涉儀

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Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀/臺階儀

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KLA-D600 高精度探針式輪廓儀/臺階儀 Alpha-Step D-600

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臺階儀 KLA 探針式表面輪廓儀 P-7（臺階儀）

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ald原子層沉積 NLD-3000原子層沉積系統(tǒng)

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刻蝕設(shè)備 NRE-3500（A）全自動反應(yīng)離子刻蝕機(jī) 那諾-馬斯特

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