KLA-D600的探針式臺階儀Alpha-Step D-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。
產(chǎn)品描述:
Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D和3D測量,以及2D翹曲度和應(yīng)力。創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。
探針接觸式測量技術(shù)的優(yōu)點是可以進行接觸式直接測量,與材料特性無關(guān)。多種力度調(diào)節(jié)和探針選擇可以讓機臺對各種結(jié)構(gòu)和材料進行準確測量。該探針測量選項能夠?qū)δ墓に囘M行量化,以確定添加或去除的材料量,并通過測量粗糙度和應(yīng)力來確定結(jié)構(gòu)的任何變化。
功能特點:
臺階高度:納米級到 1200 微米
微力:0.03 至 15 mg
視頻:5MP高分辨率彩色相機
梯形失真校正:可消除側(cè)視視圖造成的失真
弧形校正:可消除探針的弧形運動引起的誤差
小巧的尺寸:系統(tǒng)占用體積小
軟件:用戶友好的軟件界面
應(yīng)用功能:
臺階高度:2D和3D臺階高度
紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
形狀:2D和3D翹曲度和形狀
應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力
應(yīng)用領(lǐng)域:
高校、實驗室和研究所
半導體和化合物半導體
LED:發(fā)光二極管
太陽能板
MEMS:微機電系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設(shè)備
那諾-馬斯特中國有限公司
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