Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發(fā)和生產環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應力進行2D測量。D-500探針式輪廓儀搭載了140毫米手動載臺和具有增強影像控制的高級光學系統(tǒng)。

產品描述

      Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持對臺階高度、粗糙度、彎曲度和應力進行2D測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高垂直分辨率、長程垂直測量范圍和微力控制測量能力。

      輪廓儀探針測量技術的一個優(yōu)勢是它是接觸式直接測量，與材料特性無關。多種力度調節(jié)和探針選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這可以對您的工藝進行量化，以確定添加或移除的材料量，以及通過測量粗糙度和應力來確定結構的任何變化。

特征

• 臺階高度：納米級到1200微米

• 微力：0.03至15毫克

• 視頻：5MP高分辨率彩色相機

• 梯形失真校正：可消除側視視圖造成的失真

• 弧形校正：可消除探針的弧形運動引起的誤差

• 小巧的尺寸：體積最小的臺式探針式輪廓儀

• 軟件：用戶友好的軟件界面

主要應用

• 臺階高度：2D臺階高度

• 紋理：2D粗糙度和波紋度

• 形狀：2D翹曲和形狀

• 應力：2D薄膜應力

應用領域

• 高校、實驗室和研究所

• 半導體和化合物半導體

• LED：發(fā)光二極管

• 太陽能板

• MEMS：微機電系統(tǒng)

• 汽車

• 醫(yī)療設備

應用說明

    臺階高度

    Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1200μm的2D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step 系列具有低觸力功能，可以測量如光刻膠的軟性材料。

    紋理：粗糙度和波紋度

    Alpha-Step D-500測量2D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數。

    外形：翹曲和形狀

    Alpha-Step D-500可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量，例如在半導體或化合物半導體器件生產過程中，多層沉積層結構中層間不匹配是導致這類翹曲產生的原因。Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

    應力：2D薄膜應力

     Alpha-Step D-500能夠測量在生產包含多個工藝層的半導體或化合物半導體器件期間所產生的應力。 使用應力卡盤將樣品支撐在中性位置***測量樣品翹曲。 然后通過應用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應力。