NRE-3500（M）反應(yīng)離子刻蝕機(jī)概述：獨(dú)立式RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計(jì)，并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機(jī)械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。
NRE-3500（M）反應(yīng)離子刻蝕機(jī)是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實(shí)時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實(shí)時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護(hù)的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護(hù)人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運(yùn)行系統(tǒng)?；谌詣拥目刂?，該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體
· 不銹鋼立柜
· 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬
· 典型的硅刻蝕速率，400 ?/min
· 高達(dá)12"的陽極氧化鋁RF樣品臺
· 水冷及加熱的RF樣品臺
· 大的自偏壓
· 淋浴頭氣流分布
· 極限真空5x10-7Torr，20分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr級別
· 渦輪分子泵
· 至多支持5個MFC
· 無繞曲氣體管路
· 自動下游壓力控制
· 雙刻蝕能力：RIE以及PE刻蝕(可選)
· 終點(diǎn)監(jiān)測
· 氣動升降頂蓋
· 手動上下載片
· 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動控制
· 菜單驅(qū)動，4級密碼訪問保護(hù)
· 完全的安全聯(lián)鎖
· 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺，用于深硅刻蝕
產(chǎn)品型號：
· NRE-4000：基于PC計(jì)算機(jī)全自動控制的獨(dú)立式系統(tǒng)，占地面積26“D x 44"W
· NRE-3500：基于PC計(jì)算機(jī)全自動控制的緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng)，占地面積26“D x 26"W
· NRE-3000：基于PC計(jì)算機(jī)全自動控制的臺式系統(tǒng)，占地面積26“D x 26"W
· NRP-4000：RIE/PECVD雙系統(tǒng)
· NDR-4000：深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)
關(guān)鍵字： 反應(yīng)離子刻蝕機(jī);刻蝕機(jī);反應(yīng)離子刻蝕機(jī)價格;進(jìn)口反應(yīng)離子刻蝕機(jī);RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī);
那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月，是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國大陸，香港，臺灣和澳門)的客戶，同時我們在中國大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室，提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。
那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國，該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司，是一家國際領(lǐng)先的缺陷檢測和高速鍍層測量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。
自2001年Nano-Master開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)