中文名四氟化鈦
外文名Titanium tetrafluoride
別 名Titanic fluoride、tetrafluoride、titanium(4+) tetrafluoride、Titanium(IV) Fluoride
分子量123.87
CAS登錄號7783-63-3
EINECS登錄號232-017-6
熔 點(diǎn)377 ℃
水溶性溶于冷水中分解
密 度2.7982 g/cm3
化學(xué)性質(zhì)
四氟化鈦為有吸濕性的白色粉末,相對密度2.798,熔點(diǎn)284℃,常壓下284℃即升華。易溶于水并分解,不溶于乙醚。在100℃時(shí)與硅氯仿反應(yīng)生成硅氟仿??膳c某些胺類及吡啶等形成加合物。四氟化鈦在微電子工業(yè)中用作刻蝕劑、在石化行業(yè)中用作催化劑
用途
用于成膜材料及離子注人摻雜。在微電子工業(yè)上用于化學(xué)氣體沉積,以制作低電阻、高熔點(diǎn)的互連線。
四氟化鈦呈白色粉末,其可與干燥的氣體如O2、N2、CO、CO2、HCl、SO3、CS2等都不反應(yīng)。在微電子工業(yè)中用作化學(xué)氣相沉積或離子注入形成硅化鈦或鈦膜,制作低電阻、高熔點(diǎn)的電路互聯(lián)線和柵極。
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