KLA光學(xué)輪廓儀 Profilm 3D 白光干涉儀

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最小起訂量	1臺(tái)
發(fā)貨地	上海
更新日期	2024-12-30

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產(chǎn)品詳情

中文名稱:KLA光學(xué)輪廓儀 Profilm 3D 白光干涉儀	品牌: KLA
產(chǎn)地: 美國	產(chǎn)品類別: 半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備

產(chǎn)品描述

Filmetrics Profilm3D 和 Filmetrics Profilm3D-200 白光干涉儀能夠高分辨率地測(cè)量亞納米級(jí)分辨率的表面形貌。Profilm 3D系列的光學(xué)輪廓儀機(jī)臺(tái)支持垂直掃描和相移干涉測(cè)量法。Profilm 3D光學(xué)輪廓儀 采用TotalFocus? 技術(shù)，可以產(chǎn)生令人驚嘆的 3D 自然彩色圖像，每個(gè)像素都處于聚焦?fàn)顟B(tài)。最新一代的 Profilm3D 引入了加強(qiáng)版粗糙度成像技術(shù)，可用于測(cè)量更粗糙的表面、更高的斜率以及更低的反射率表面。

在 Profilm3D 測(cè)量技術(shù)中，測(cè)量的垂直分辨率不依賴于物鏡的數(shù)值孔徑，能夠同時(shí)以大視場(chǎng)進(jìn)行高分辨率的測(cè)量。通過將多個(gè)視場(chǎng)拼接到單次測(cè)量中，可以進(jìn)一步增大測(cè)量區(qū)域。Profilm3D 還具有簡(jiǎn)單、創(chuàng)新的用戶界面和自動(dòng)化功能，支持從研發(fā)到生產(chǎn)的各種工作環(huán)境。

我們的 Profilm^? 軟件包采用先進(jìn)的基于云的 ProfilmOnline^? 網(wǎng)絡(luò)服務(wù)、 Android 和 iOS 的移動(dòng)應(yīng)用程序以及高級(jí) Profilm 桌面軟件，可提供靈活的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、可視化功能以及分析解決方案。

Profilm 3D光學(xué)輪廓儀特征優(yōu)勢(shì)

垂直掃描和相移干涉測(cè)量法用于測(cè)量納米級(jí)到毫米級(jí)的表面特征
TotalFocus 3D成像技術(shù)對(duì)整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)的每個(gè)像素的聚焦能力都進(jìn)行了優(yōu)化
真彩色成像可生成實(shí)際的樣品顏色，增強(qiáng)可視化效果，尤其是對(duì)于細(xì)小或埋藏的特征
粗糙度增強(qiáng)模式 (ERM) 可提高條紋的對(duì)比度，從而提高透鏡等斜率較大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比
該自動(dòng)對(duì)焦功能具有行業(yè)領(lǐng)先的長(zhǎng)壓電行程范圍，可掃描高度相隔甚遠(yuǎn)的多個(gè)表面
可以測(cè)量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù)，可以輕松測(cè)量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測(cè)量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì)像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。
快速測(cè)量大面積區(qū)域：具有長(zhǎng)行程范圍的自動(dòng)化 X-Y 樣品臺(tái)（測(cè)量范圍為毫米級(jí)別，配置XY樣品臺(tái)達(dá)100mm*100mm），非常適合分布測(cè)繪和拼接掃描
可視化3D功能：使用簡(jiǎn)便的軟件包帶有高級(jí) Profilm 桌面、基于云的 ProfilmOnline 和移動(dòng)應(yīng)用程序，可用于靈活的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、可視化功能以及分析。Profilm 3D輪廓儀具有強(qiáng)大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量外，還可以任意角度移動(dòng)樣品量測(cè)三維圖形，多角度分析樣品圖像。
適用于各類樣品：Profilm 3D輪廓儀適用于各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質(zhì)、硬質(zhì)涂層、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測(cè)量。

Profilm 3D光學(xué)輪廓儀應(yīng)用功能

臺(tái)階高度：從納米級(jí)到毫米級(jí)的 3D 臺(tái)階高度
紋理和形狀：3D粗糙度、波紋度、翹曲度和形狀
紋理表征
邊緣倒角：3D邊緣輪廓測(cè)量
缺陷表征：3D缺陷表面形貌、缺陷表征
對(duì)大型透明薄膜的表面進(jìn)行高分辨率掃描
高粗糙度，低反射率，劃痕表征
技術(shù)能力：厚度范圍，VSI 50nm-100mm
厚度范圍，PSI 0-3 μm
樣品反射率范圍 0.05%-100%
Piezo范圍 500 μm
XY平臺(tái)范圍100mm x 100mm

Profilm 3D光學(xué)輪廓儀應(yīng)用領(lǐng)域

大學(xué)、實(shí)驗(yàn)室和研究所
硅和化合物半導(dǎo)體
精密光學(xué)和機(jī)械
醫(yī)療設(shè)備
LED：發(fā)光二極管
功率器件
MEMS: 微機(jī)電系統(tǒng)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
汽車

Profilm 3D光學(xué)輪廓儀應(yīng)用案例

關(guān)鍵字：光學(xué)輪廓儀;非接觸式輪廓儀;白光干涉儀;高精度輪廓儀;臺(tái)階儀;

公司簡(jiǎn)介

那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月，是服務(wù)大中華區(qū)(包含中國大陸，香港，臺(tái)灣和澳門)的客戶，同時(shí)我們?cè)谥袊箨懺O(shè)有專門的服務(wù)辦公室，提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國，該公司是法國那諾-馬斯特有限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司，是一家國際領(lǐng)先的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。自2001年Nano-Master開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時(shí)間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)

成立日期	2015-04-17 （10年）	注冊(cè)資本	100萬人民幣
員工人數(shù)	1-10人	年?duì)I業(yè)額	￥ 1000萬-5000萬
主營行業(yè)	其他儀器耗材	經(jīng)營模式	定制

那諾-馬斯特中國有限公司

非會(huì)員

公司成立：10年
注冊(cè)資本：100萬人民幣
企業(yè)類型：私人股份有限公司
主營產(chǎn)品：薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長(zhǎng)設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測(cè)試設(shè)備等
公司地址：徐匯區(qū)虹梅南路126弄翡翠別墅23號(hào)

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