六氟化鎢(WF6)氣體的應(yīng)用 在鎢的氟化物中,六氟化鎢是穩(wěn)定并被工業(yè)化生產(chǎn)的品種。它的主要用途是在電子工業(yè)中作為金屬鎢化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝的原材料,特別是用它制成的WSi2可用作大規(guī)模集成電路(LSI)中的配線材料。通過(guò)混合金屬的CVD工藝制得鎢和錸的復(fù)合涂層,可用于X-射線的發(fā)射電極。此外,六氟化鎢在電子行業(yè)中還主要用作半導(dǎo)體電極和導(dǎo)電漿糊等的原材料。 六氟化鎢還有許多非電子方面的應(yīng)用,例如通過(guò)CVD技術(shù)使鎢在鋼的表面上生成堅(jiān)硬的碳化鎢可用來(lái)改善鋼的表面性能。它還可用于制造某些鎢制部件,如鎢管和坩堝等。此外,WF6還被廣泛用作氟化劑、聚合催化劑及光學(xué)材料的原料等。
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