理化性質(zhì)：
化學(xué)式WF6。分子量297.84。無(wú)色氣體或淡黃色液體。有強(qiáng)刺激性。有毒，其毒性與氟相似。溫度很低時(shí)呈白色固體。能溶于有機(jī)溶劑并產(chǎn)生特殊的顏色。遇水分解。在空氣中被潮氣分解而強(qiáng)烈冒煙，生成黃鎢酸或三氧化鎢。化學(xué)性質(zhì)活潑。幾乎能和所有的金屬(除金和鉑)反應(yīng)。對(duì)鎳、蒙乃爾合金和不銹鋼也有腐蝕性，但Ni和不銹鋼可抗其腐蝕性。干燥狀態(tài)時(shí)，對(duì)玻璃的腐蝕性較弱，而在濕氣中則能迅速反應(yīng)。與氣態(tài)氨反應(yīng)強(qiáng)烈。能被氨水或堿所吸收。與堿金屬氟化物可成復(fù)鹽。溶于苯等多種有機(jī)溶劑。
【密度】3.44×103kg/m3(15℃，液體)【熔點(diǎn)】2.5℃(5.6×104帕)
【沸點(diǎn)】17.5℃【臨界溫度】171℃
【臨界壓力】445.8kPa
【制備方法】由金屬鎢粉與元素氟直接反應(yīng)合成。
【主要用途】
?。?）一種強(qiáng)氟化劑，用于氣相沉積法制鎢膜。
?。?）在微電子工業(yè)中用作化學(xué)氣相淀積硅化鎢或鎢，以制作低電阻、高熔點(diǎn)的互連線。
主要用途：六氟化鎢（WF6）是唯一能穩(wěn)定存在的鎢的氟化物，具有極強(qiáng)的腐蝕性，可根據(jù)外界環(huán)境的變化表現(xiàn)出靈活的物化性能，被廣泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域。六氟化鎢在電子工業(yè)中主要作為集成電路的配線材料使用，其在經(jīng)過(guò)化學(xué)氣相沉積工藝后可形成金屬鎢導(dǎo)體膜，鎢導(dǎo)體膜在集成電子學(xué)中通常被用作高傳導(dǎo)性的互連金屬、金屬層間的通孔和垂直接觸的接觸孔以及鋁和硅間的隔離層，因此被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成領(lǐng)域；另外，六氟化鎢還可以應(yīng)用于太陽(yáng)能吸收器以及X射線發(fā)射電極的制造、導(dǎo)電漿糊等電子元器原材料。
危險(xiǎn)特性：遇潮濕、空氣或水會(huì)分解，放出劇毒和有腐蝕性的氟化氫煙霧。對(duì)皮膚、眼睛、粘膜能引起極嚴(yán)重的灼傷。高濃度暴露會(huì)引起惡心、嘔吐、腹痛、抽搐、腎損傷。
關(guān)鍵字： 六氟化鎢;7783-82-6;
粵佳氣體集團(tuán)是廣東地區(qū)綜合性氣體供應(yīng)商之一，總部位于廣州市增城新塘鎮(zhèn)，公司成立于1993年，依托于西洲乙炔廠發(fā)展至今，并在2012年成立粵佳氣體集團(tuán)，集團(tuán)包括廣州市粵佳氣體有限公司、清遠(yuǎn)市聯(lián)升空氣液化有限公司、英德市西洲氣體有限公司、廣州市譜源氣體有限公司、廣州耀升氣體有限公司、中山格魯博氣體有限公司、深圳市昌達(dá)利氣體有限公司、增城市和康貿(mào)易有限公司、大特粵佳（廣東）氣體有限公司?？傎Y產(chǎn)超過(guò)5億元，工廠總占地面積132,000平方米，職工600多人。
現(xiàn)有空氣液化分離裝置3套，高純液氧純化裝置1套，乙炔生產(chǎn)裝置2套，氫氣生產(chǎn)裝置3套，工業(yè)氣體、可燃?xì)怏w充裝裝置多套。建立了先進(jìn)的混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體配制中心、氣體質(zhì)量檢測(cè)中心及氣瓶檢驗(yàn)站，并擁有多套高純氣體純化和充裝系統(tǒng)。設(shè)有獨(dú)立的危險(xiǎn)化學(xué)品運(yùn)輸車(chē)隊(duì)，?；奋?chē)輛超過(guò)80臺(tái)，配送范圍覆蓋整個(gè)廣東省及周邊省份。
工廠已通過(guò)IS09001質(zhì)量體系認(rèn)證及0HSMS18000安全管理體系認(rèn)證。多次榮獲工商局“重信用守合同”優(yōu)秀單位稱號(hào)。