1. 前處理
為了確保派瑞林鍍膜的附著力，通常需要對被鍍物體表面進行預處理。常見的預處理方法包括：
- 清潔：去除表面的油污、灰塵、氧化層等雜質。
- 化學刻蝕：對表面進行微觀處理，提高膜層的附著力。
- 干燥：徹底干燥工件，以防止表面殘留水分影響膜層質量。
2. 蒸發(fā)與傳輸
Parylene鍍膜采用的主要技術是化學氣相沉積（CVD）工藝，具體步驟如下：
2.1 蒸發(fā)
派瑞林原料通常是Parylene二聚體（Parylene dimer），它具有低熔點和低揮發(fā)性。在真空環(huán)境下，Parylene二聚體通過加熱蒸發(fā)成氣體狀態(tài)。此過程一般在溫度為150-200°C的加熱爐中進行。
2.2 氣化與裂解
蒸發(fā)后的Parylene二聚體進入反應室，通過加熱裂解成單體（Parylene monomer）。通常在550°C左右的溫度下，二聚體會發(fā)生裂解反應，轉化為可以沉積的單體氣體。
2.3 傳輸至沉積表面
Parylene單體氣體會通過管道進入沉積腔室，在這一過程中，氣體被引導到待涂物體表面。由于Parylene的氣化溫度較低，膜層的沉積能夠在較低溫度下進行，從而避免了對基材的熱損害。
2.4 沉積成膜
當Parylene單體氣體接觸到基材表面時，發(fā)生聚合反應，形成薄膜。由于聚合是通過氣相反應進行的，因此派瑞林膜能夠均勻地覆蓋在復雜形狀的物體表面，包括內腔、縫隙等難以接觸的地方。Parylene膜的厚度一般為幾微米到幾十微米不等，具體厚度可根據(jù)需要調整。
3. 后處理
沉積過程完成后，通常需要進行后處理以保證膜層的質量。常見的后處理步驟包括：
- 固化：雖然Parylene膜在沉積時已經(jīng)完成了聚合反應，但通常需要在較低溫度下進行固化，確保薄膜的致密性和穩(wěn)定性。
- 質量檢測：通過顯微鏡檢查膜層的厚度、均勻性，確保膜層沒有缺陷，符合使用要求。