制備

三(三甲基硅基)膦可以由三甲基氯化硅、白磷和鈉鉀合金反應而成：

1/4 P4  +  3 Me3SiCl  +  3 K   →  P(SiMe3)3  +  3 KCl

其它方法也是已知的。

化學反應

三(三甲基硅基)膦水解成磷化氫：

P(SiMe3)3  +  3H2O   →   PH3  +  3 HOSiMe3

酰氯和三(三甲基硅基)膦反應，產(chǎn)生磷雜乙炔化物，例如制備叔丁基磷雜乙炔。

它和叔丁醇鉀反應，斷掉一根 P-Si 鍵：

P(SiMe3)3  +  KO-t-Bu   →   KP(SiMe3)2  +  Me3SiO-t-Bu

危險性

三(三甲基硅基)膦在空氣中自燃，所以要使用空氣隔絕技術(shù)存放。