催化臭氧氧化廢水技術工藝原理是在催化劑活性中心的作用下，利用臭氧強氧化，破壞難降解有機物分子的原有結構，使其轉變成利于生化降解的物質分子，進而得到降解消化，能有效降低污染程度。

催化臭氧氧化廢水技術將需要深度處理的廢水在調節(jié)池穩(wěn)定化、均一化，出水進入沉淀過濾池，加藥絮凝沉淀過濾，調整PH值至堿性，在臭氧催化氧化池內，臭氧在催化劑活性中心以及堿性條件的作用下會產生強氧化基團羥基自由基，使得難降解物質碳鏈發(fā)生結構性變化，轉變?yōu)橐咨男》肿游镔|，出水進入水解酸化池，進行厭氧、兼氧生化處理，部分小分子污染物得到分解降除，然后進入接觸氧化池，進行充分好氧，降除污染物，出水在二沉池沉淀后，清水經過吸附過濾，產品水進入儲水池（產品水池），就可以達到回用或排放的標準。

催化臭氧氧化廢水技術的特點在于，在催化劑載體活性中心存在的前提下，充分發(fā)揮臭氧的氧化分解作用。一方面臭氧在堿性溶液會容易產生羥基自由基，生成的羥基自由基具有很高的電極電勢、更強的氧化性、電子親和能高，它能快速而無選擇地與廢水中難降解有機物進行反應，且隨著PH值升高，臭氧分解形成羥基自由基的速度加快（PH值一般控制在8～11之間）；另一方面也是最重要的一點，就是在催化劑活性中心作用下，臭氧產生羥基自由基的效率有了大幅提高，羥基自由基與污染物接觸的幾率也增大了很多，臭氧的利用率高達97.5%以上。

值得一提的是，該技術的經濟效益十分明顯。普通的臭氧氧化技術應用在污水處理方面有很多優(yōu)勢，但是臭氧工藝的高運行成本（主要是電耗）、高投資成本一直是該技術應用和推廣的一大桎梏。相比之下，催化臭氧氧化廢水技術從投資成本和運行成本上都取得了突破性進展。由于催化劑活性中心的存在使得臭氧在堿性條件下產生羥基自由基的效率提高了2倍，降解分解污染物的效率也相應得到了提高，同等效果的前提下，電耗量也節(jié)省了30%。

由于該工藝臭氧催化氧化作用只在把大分子難生化物質轉化為小分子可生化物質這一特定階段發(fā)揮作用，并非用臭氧氧化工藝直接徹底分解降除污染物，在此環(huán)節(jié)上又比單純用臭氧氧化節(jié)省投資和運行費用20%左右。后續(xù)用生化工藝（厭氧/兼氧+好氧）可把小分子可生化污染物質進行徹底降解去除。這樣綜合下來，采用催化臭氧氧化技術在投資成本和運行成本兩方面，均比單純臭氧氧化工藝節(jié)省30%左右，并且降除污染物更徹底，更具有市場推廣價值。