四氟化硅
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- CAS號:
- 7783-61-1
- 英文名:
- Silicon Tetrafluoride
- 英文別名:
- SiF4;perfluorosilane;Silicon fluoride;TETRAFLUOROSILANE;tetrafluoro-silan;Silane,tetrafluoro-;Silane, tetrafluoro-;SILICON TETRAFLUORIDE;SILICON (IV) FLUORIDE;siliconfluoride[sif4]
- 中文名:
- 四氟化硅
- 中文別名:
- 氟化硅;四氟化硅;氟化硅(IV)
- CBNumber:
- CB5396788
- 分子式:
- F4Si
- 分子量:
- 104.08
- MOL File:
- 7783-61-1.mol
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四氟化硅化學(xué)性質(zhì)
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熔點:
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-90°C
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沸點:
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-86 °C
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密度:
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1.66
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蒸氣壓:
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3517.191kPa at 25℃
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溶解度:
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reacts with H2O
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形態(tài):
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colorless gas
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顏色:
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colorless
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比重:
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1.66
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水溶解性:
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hydrolyzed by H2O [AIR87]
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水解敏感性:
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8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
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Merck:
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13,8575
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CAS 數(shù)據(jù)庫:
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7783-61-1(CAS DataBase Reference)
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EPA化學(xué)物質(zhì)信息:
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Silane, tetrafluoro- (7783-61-1)
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四氟化硅性質(zhì)、用途與生產(chǎn)工藝
四氟化硅亦稱“四氟甲硅烷”。1771年由瑞典著名化學(xué)家舍勒(Scheele)發(fā)現(xiàn)?；瘜W(xué)式SiF4。分子量104.08。無色氣體，有窒息性氣味，有毒！熔點-90.2℃，沸點-86℃， -95.2℃升華。臨界溫度-14.15℃。臨界壓力3.715MPa。相對密度4.69。溶于無水乙醇、氫氟酸和硝酸，不溶于乙醚。在潮濕空氣中水解，生成氟化氫和硅酸并形成濃煙，遇水水解，生成原硅酸H4SiO4和氫氟酸，水解生成的氫氟酸跟未水解的四氟化硅絡(luò)合生成氟硅酸。純氟硅酸是不存在的，因其易分解，只能制得其60%的水溶液。氟硅酸較硫酸更強(qiáng)，是一種強(qiáng)酸。與碳、磷、碘等非金屬以及鋅、 汞、硫化氫、熔融氯化鉀、無水堿金屬碳酸鹽和硼酸鹽幾乎不反應(yīng)。能制止鎂在空氣中氧化。與鉀、鈉在灼熱條件下反應(yīng)生成硅、鉀、鈉的氟化物和氟硅酸鹽的混合物。與氯化鋁在高溫下反應(yīng)生成四氯化硅。
制法：可由濃硫酸與二氧化硅和氟化鈣反應(yīng)，或由濃硫酸分解含氟磷礦石而得。欲得極純的四氟化硅，可將氟硅酸鹽熱分解：BaSiF6=BaF2+SiF4。
用途：用以制取有機(jī)硅化物、氟硅酸和氟化鋁，也用于化學(xué)分析、油井鉆探、催化劑、蒸熏劑等。
圖1為四氟化硅分子結(jié)構(gòu)式。
高純電子級四氟化硅（SiF4）作為電子工業(yè)重要原料之一，具有較高的氟硅比，被廣泛應(yīng)用于光纖、半導(dǎo)體或太陽能電池的生產(chǎn)，是電子產(chǎn)業(yè)核心制造業(yè)的基礎(chǔ)。它可以高效刻蝕氮化硅、硅化鉭等芯片材料，作為P型摻雜劑及外延沉積擴(kuò)散硅源。特別在新一代芯片制程的高深寬比、大容量金屬層間絕緣介質(zhì)加工工藝中，四氟化硅作為硅源可以達(dá)到較高的化學(xué)沉積速率，制成更優(yōu)越的低介電常數(shù)SiO2薄膜。另外，四氟化硅也是光導(dǎo)纖維制造工藝的主要原料和光纖行業(yè)中硅基半導(dǎo)體離子注入制程的關(guān)鍵成分。
不易燃。易水解成氟硅酸，在潮濕空氣中形成氟化氫。具窒息性、刺激性和腐蝕性。對眼睛、皮膚、粘膜和呼吸系統(tǒng)有嚴(yán)重?fù)p害。局部腐蝕作用強(qiáng)，能引起脫鈣中毒，經(jīng)過長期的痛苦而致殘廢。吸入氣體會造成呼吸困難，出現(xiàn)肺水腫及化學(xué)性肺炎。同時可見牙齒酸蝕癥所致的脫鈣，因氟慢性中毒導(dǎo)致骨硬化癥。大鼠吸入LC50300ppm。受熱后瓶內(nèi)壓力增大，有爆炸危險。本信息由Chemicalbook曉楠編輯（2015-08-17）。
裝于特殊鋼瓶內(nèi)，貯于陰涼、通風(fēng)的倉庫內(nèi)。遠(yuǎn)離熱源和火源。防止受潮和雨淋。須貼“毒氣、腐蝕品”標(biāo)志。航空、鐵 路嚴(yán)禁運輸?；馂?zāi)時可用水冷卻容器，關(guān)閉閥門，切斷火源。用二氧化碳、干粉、干砂滅火。禁止用水。
眼睛接觸時，用大量水沖洗，并就醫(yī)診治。皮膚接觸時 先用水沖洗，再涂敷氧化鎂甘油軟膏，如已灼傷應(yīng)立即就醫(yī)。吸入氣體時，立即將患者移至新鮮空氣處，安置休息并保暖。迅速送醫(yī)院救治。
化學(xué)性質(zhì)
四氟化硅(Silicon tetrafluoride )，是一種無機(jī)化合物，化學(xué)式為SiF4，分子結(jié)構(gòu)是Si原子以sp3雜化軌道形成σ鍵，分子形狀為正四面體形。在潮濕空氣中產(chǎn)生白色有腐蝕性和刺激性的氟化氫煙霧。遇水劇烈反應(yīng)，生成腐蝕性極強(qiáng)的氟硅酸。主要用于氮化硅（Si3N4）和硅化鉭（TaSi2）的等離子蝕刻、發(fā)光二極管P型摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴(kuò)散的硅源和光導(dǎo)纖維用高純石英玻璃的原料。
用途
用于氟硅酸及氟化鉛的制取，也用作水泥和人造大理石的硬化劑，制造純硅的中間體。
類別
有害氣體
毒性分級
高毒
急性毒性
吸入- 大鼠 LC50: 2272 PPM
爆炸物危險特性
受熱、日曬鋼瓶可爆; 泄漏放出劇毒煙霧
可燃性危險特性
燃燒產(chǎn)生有毒氟化物煙霧
儲運特性
庫房通風(fēng)低溫干燥; 輕裝輕卸
滅火劑
霧狀水、砂土
職業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
TWA 2.5 毫克 (氟)/ 立方米
四氟化硅
上下游產(chǎn)品信息
上游原料
下游產(chǎn)品
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