7783-61-1
中文名稱(chēng)
四氟化硅
英文名稱(chēng)
Silicon Tetrafluoride
CAS
7783-61-1
EINECS 編號(hào)
232-015-5
分子式
F4Si
MDL 編號(hào)
MFCD00040533
分子量
104.08
MOL 文件
7783-61-1.mol
7783-61-1 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
氟化硅四氟化硅
英文別名
SILICIUM TETRAFLUORIDESilicon fluoride
SILICON (IV) FLUORIDE
SILICON TETRAFLUORIDE
TETRAFLUOROSILANE
perfluorosilane
SiF4
Silane, tetrafluoro-
Silane,tetrafluoro-
Silicon fluoride (SiF4)
siliconfluoride[sif4]
tetrafluoro-silan
SILICON TETRAFLUORIDE, 99.99+%, ELECTRON
Silicon tetrafluoride 99.5%
TETRAFLUOROSILANE: 99.99%
SILICON TETRAFLUORIDE, 99+%
Silicon tetrafluoride (as fluorine)
所屬類(lèi)別
化學(xué)試劑：硅烷試劑物理化學(xué)性質(zhì)
外觀性質(zhì)無(wú)色刺激性氣體，易潮解，在潮濕空氣中可產(chǎn)生濃煙霧。
外觀性狀四氟化硅(Silicon tetrafluoride )，是一種無(wú)機(jī)化合物，化學(xué)式為SiF4，分子結(jié)構(gòu)是Si原子以sp3雜化軌道形成σ鍵，分子形狀為正四面體形。在潮濕空氣中產(chǎn)生白色有腐蝕性和刺激性的氟化氫煙霧。遇水劇烈反應(yīng)，生成腐蝕性極強(qiáng)的氟硅酸。主要用于氮化硅（Si3N4）和硅化鉭（TaSi2）的等離子蝕刻、發(fā)光二極管P型摻雜、離子注入工藝、外延沉積擴(kuò)散的硅源和光導(dǎo)纖維用高純石英玻璃的原料。
溶解性溶于乙醇、醚、硝酸、氫氟酸。
熔點(diǎn)-90°C
沸點(diǎn)86 °C
密度1.66
蒸氣壓3517.191kPa at 25℃
溶解度reacts with H2O
形態(tài)無(wú)色氣體
比重1.66
顏色無(wú)色
水溶解性hydrolyzed by H2O [AIR87]
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
Merck13,8575
CAS 數(shù)據(jù)庫(kù)7783-61-1(CAS DataBase Reference)
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Silane, tetrafluoro- (7783-61-1)
安全數(shù)據(jù)
警示詞危險(xiǎn)
危險(xiǎn)性描述H300+H310+H330-H314
防范說(shuō)明P260-P264-P280-P284-P301+P310-P302+P350
危險(xiǎn)品標(biāo)志C,T,T+
危險(xiǎn)類(lèi)別碼R26-R35-R34-R31-R26/27/28-R14
安全說(shuō)明S7/9-S24/25-S45-S36/37/39-S26-S23
危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號(hào)1859
WGK Germany3
RTECS號(hào)VW2327000
Hazard NoteToxic/Corrosive
TSCAYes
危險(xiǎn)等級(jí)2.3
毒害物質(zhì)數(shù)據(jù)7783-61-1(Hazardous Substances Data)
7783-61-1(安全特性,毒性,儲(chǔ)運(yùn))
爆炸物危險(xiǎn)特性
受熱、日曬鋼瓶可爆; 泄漏放出劇毒煙霧儲(chǔ)運(yùn)特性
庫(kù)房通風(fēng)低溫干燥; 輕裝輕卸毒性分級(jí)
高毒急性毒性
吸入- 大鼠 LC50: 2272 PPM可燃性危險(xiǎn)特性
燃燒產(chǎn)生有毒氟化物煙霧類(lèi)別
有害氣體滅火劑
霧狀水、砂土職業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
TWA 2.5 毫克 (氟)/ 立方米常見(jiàn)問(wèn)題列表
理化性質(zhì)
四氟化硅亦稱(chēng)“四氟甲硅烷”。1771年由瑞典著名化學(xué)家舍勒(Scheele)發(fā)現(xiàn)?；瘜W(xué)式SiF4。分子量104.08。無(wú)色氣體，有窒息性氣味，有毒！熔點(diǎn)-90.2℃，沸點(diǎn)-86℃， -95.2℃升華。臨界溫度-14.15℃。臨界壓力3.715MPa。相對(duì)密度4.69。溶于無(wú)水乙醇、氫氟酸和硝酸，不溶于乙醚。在潮濕空氣中水解，生成氟化氫和硅酸并形成濃煙，遇水水解，生成原硅酸H4SiO4和氫氟酸，水解生成的氫氟酸跟未水解的四氟化硅絡(luò)合生成氟硅酸。純氟硅酸是不存在的，因其易分解，只能制得其60%的水溶液。氟硅酸較硫酸更強(qiáng)，是一種強(qiáng)酸。與碳、磷、碘等非金屬以及鋅、 汞、硫化氫、熔融氯化鉀、無(wú)水堿金屬碳酸鹽和硼酸鹽幾乎不反應(yīng)。能制止鎂在空氣中氧化。與鉀、鈉在灼熱條件下反應(yīng)生成硅、鉀、鈉的氟化物和氟硅酸鹽的混合物。與氯化鋁在高溫下反應(yīng)生成四氯化硅。制法：可由濃硫酸與二氧化硅和氟化鈣反應(yīng)，或由濃硫酸分解含氟磷礦石而得。欲得極純的四氟化硅，可將氟硅酸鹽熱分解：BaSiF6=BaF2+SiF4。
用途：用以制取有機(jī)硅化物、氟硅酸和氟化鋁，也用于化學(xué)分析、油井鉆探、催化劑、蒸熏劑等。
圖1為四氟化硅分子結(jié)構(gòu)式。
電子級(jí)四氟化硅
高純電子級(jí)四氟化硅（SiF4）作為電子工業(yè)重要原料之一，具有較高的氟硅比，被廣泛應(yīng)用于光纖、半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)，是電子產(chǎn)業(yè)核心制造業(yè)的基礎(chǔ)。它可以高效刻蝕氮化硅、硅化鉭等芯片材料，作為P型摻雜劑及外延沉積擴(kuò)散硅源。特別在新一代芯片制程的高深寬比、大容量金屬層間絕緣介質(zhì)加工工藝中，四氟化硅作為硅源可以達(dá)到較高的化學(xué)沉積速率，制成更優(yōu)越的低介電常數(shù)SiO2薄膜。另外，四氟化硅也是光導(dǎo)纖維制造工藝的主要原料和光纖行業(yè)中硅基半導(dǎo)體離子注入制程的關(guān)鍵成分。危險(xiǎn)特性
不易燃。易水解成氟硅酸，在潮濕空氣中形成氟化氫。具窒息性、刺激性和腐蝕性。對(duì)眼睛、皮膚、粘膜和呼吸系統(tǒng)有嚴(yán)重?fù)p害。局部腐蝕作用強(qiáng)，能引起脫鈣中毒，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的痛苦而致殘廢。吸入氣體會(huì)造成呼吸困難，出現(xiàn)肺水腫及化學(xué)性肺炎。同時(shí)可見(jiàn)牙齒酸蝕癥所致的脫鈣，因氟慢性中毒導(dǎo)致骨硬化癥。大鼠吸入LC50300ppm。受熱后瓶?jī)?nèi)壓力增大，有爆炸危險(xiǎn)。本信息由Chemicalbook曉楠編輯（2015-08-17）。貯運(yùn)須知
裝于特殊鋼瓶?jī)?nèi)，貯于陰涼、通風(fēng)的倉(cāng)庫(kù)內(nèi)。遠(yuǎn)離熱源和火源。防止受潮和雨淋。須貼“毒氣、腐蝕品”標(biāo)志。航空、鐵 路嚴(yán)禁運(yùn)輸?；馂?zāi)時(shí)可用水冷卻容器，關(guān)閉閥門(mén)，切斷火源。用二氧化碳、干粉、干砂滅火。禁止用水。急救措施
眼睛接觸時(shí)，用大量水沖洗，并就醫(yī)診治。皮膚接觸時(shí) 先用水沖洗，再涂敷氧化鎂甘油軟膏，如已灼傷應(yīng)立即就醫(yī)。吸入氣體時(shí)，立即將患者移至新鮮空氣處，安置休息并保暖。迅速送醫(yī)院救治。