7803-62-5
中文名稱
硅烷
英文名稱
Silicon tetrahydride
CAS
7803-62-5
分子式
H4Si
分子量
32.12
MOL 文件
7803-62-5.mol
更新日期
2024/11/01 11:07:35
7803-62-5 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
甲硅烷四氫化硅
硅烷
甲矽烷
RB-602硅烷偶聯(lián)劑
RB-902硅烷偶聯(lián)劑
英文別名
SILANESILICON TETRAHYDRIDE
flots100sco
Monosilane
SiH4
Silicane
Silicon hydride
Silicon hydride (SiH4)
tetrahydrure
tetrahydruredesilicium
Silaneinnitrogen
SILANE, 99.998+%, ELECTRONIC GRADE
Silicon tetyahydride
SilaneGAS(Silicontetrahydride)
SILANE: 15-17% IN NITROGEN
15-17% IN NITROGEN
methylsilicane
Silicon tetrahydride (Silane)
Silane coupler RB-602
Silane coupler RB-902
所屬類別
有機(jī)原料：有機(jī)硅化合物物理化學(xué)性質(zhì)
外觀性質(zhì)無色氣體，有惡臭。
溶解性溶于苯、四氯化碳。
熔點(diǎn)-185 °C
沸點(diǎn)-112 °C
密度1.114 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸氣密度1.1 (vs air)
蒸氣壓100kPa at 20℃
溶解度reacts with H2O; insoluble in ethanol,benzene
形態(tài)無色氣體
比重0.680
顏色colorless gas; flammable
氣味 (Odor)repulsive odor
水溶解性decomposed by H2O; insoluble alcohol, benzene [HAW93]
水解敏感性10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required
用途用于集成電路制造、太陽能電池、涂膜反射玻璃等
用途用于制造集成電路、太陽能電池、涂膜反射玻璃等
Merck13,8562
暴露限值TLV-TWA 5 ppm (6.5 mg/m3) (ACGIH).
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Silane (7803-62-5)
安全數(shù)據(jù)
警示詞危險(xiǎn)
危險(xiǎn)性描述H220-H280
危險(xiǎn)品標(biāo)志F+,Xn
危險(xiǎn)類別碼12-17-20
安全說明9-16-33-36/37/39
危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號(hào)UN 2203 2.1
WGK Germany1
RTECS號(hào)VV1400000
TSCAYes
DOT Classification2.1 (Flammable gas)
危險(xiǎn)等級(jí)2.1
毒害物質(zhì)數(shù)據(jù)7803-62-5(Hazardous Substances Data)
常見問題列表
理化性質(zhì)
硅烷是指的是碳烷烴的硅取代類似物。構(gòu)成硅烷烴的是一條硅原子鏈接形成的主鏈和以共價(jià)鍵鏈接在主鏈上的氫原子。硅烷是具有特殊氣味的無色氣體，比空氣重。
應(yīng)用
四氫化硅廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、能源工業(yè)、玻璃工業(yè)、化學(xué)工業(yè)及高科技領(lǐng)域等多個(gè)行業(yè)和領(lǐng)域，其主要用做生產(chǎn)液晶 TFT、太陽能電池、半導(dǎo)體、感光體材料等。近幾年，由于我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，超大規(guī)?；虼笠?guī)模集成電路在國有很大的發(fā)展空間，這將使四氫化硅的消費(fèi)量日益增長。同時(shí)，由于太陽能市場的繁榮仍將持續(xù)，據(jù)預(yù)測，從2010年至2020年，全球四氫化硅市場將以年均20%的速率增長。四氫化硅是一種重要的特種氣體，是一個(gè)國家氣體產(chǎn)業(yè)是否先進(jìn)的重要標(biāo)志。我國作為經(jīng)濟(jì)迅速發(fā)展的大國，每年消耗的多晶硅將近4000噸左右，每年消耗的四氫化硅約為200～300噸，有較大的接觸人群。