中文名稱：硅烷 高純硅烷
產(chǎn)品純度：99.9999%
包裝規(guī)格：44L
充裝量：10公斤
英文名稱：silane
分子式：SiH4
詳細(xì)參數(shù)
| 序號(hào) | 名稱 | 化學(xué)式 | 純度(%) | 壓力(Mpa) | 充裝量(m3/kg) | 閥門(mén)|螺紋出口 | 鋼瓶容積(L) | 鋼瓶尺寸(cm) | 鋼瓶皮重(kg) |
| 1 | 硅烷 | SiH4 | 99.9999 | - | 10kg | CGA350/Diss632 | 44 | 23×140 | 70 |
質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
| 項(xiàng)目名稱 | 雜質(zhì)含量（ppm) |
| 硅烷 純度指標(biāo)（%） ≥99.9999 |
|
氬氣（Ar） | ≤0.05 |
| 氯硅烷（Chlorosilane)） | ≤0.15 |
乙硅烷（Si2H6)) | ≤0.5 |
| 氦氣（He） | ≤1 |
一氧化碳（CO） | ≤0.05 |
| 氧氣（O2） | ≤0.05 |
氮?dú)猓∟2） | ≤1 |
| 氫氣（H2） | ≤20 |
二氧化碳（CO2） | ≤0.05 |
| 甲烷（CH4） | ≤0.05 |
碳（C） | ≤0.2 |
| 二氯二氫硅（SiH2Cl2) | ≤0.5 |
甲基硅烷（CH3Si) | ≤0.5 |
| 金屬離子（Metals) | ≤0.03 |
硅烷發(fā)展歷史
硅烷是1857年發(fā)現(xiàn)的，在之后100年左右的時(shí)間里，在工業(yè)生產(chǎn)中幾乎沒(méi)有任何用途。直到20世紀(jì)50年代，由于半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，它才開(kāi)始在電子工業(yè)生產(chǎn)中得到應(yīng)用。20世紀(jì)80年代半導(dǎo)體工業(yè)迅速發(fā)展，硅烷用量才迅速上升。1984年國(guó)際硅烷市場(chǎng)的銷(xiāo)量為70t，1986年增加到110t，每年以12%～15%的速度遞增。1990年全世界硅烷銷(xiāo)量為240t。我國(guó)對(duì)硅烷的應(yīng)用起步較晚，目前每年消耗量約數(shù)十噸。
隨著一系列新技術(shù)、新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)應(yīng)用，除微電子工業(yè)外，硅烷已經(jīng)成為信息、新材料、能源和環(huán)境科學(xué)的基礎(chǔ)原料，是許多未來(lái)產(chǎn)業(yè)所必不可少的。它在現(xiàn)代科學(xué)和現(xiàn)代工業(yè)中的地位顯得十分重要。
什么是硅烷氣體
硅烷是一種無(wú)色、與空氣反應(yīng)并會(huì)引起窒息的氣體。該氣體通常與空氣接觸會(huì)引起燃燒并放出很濃的白色的無(wú)定型二氧化硅煙霧。它對(duì)健康的首要危害是它自燃的火焰會(huì)引起嚴(yán)重的熱灼傷，如果嚴(yán)重甚至?xí)旅?。如果火焰或高溫作用在硅烷鋼瓶的某一部分?huì)使鋼瓶在安全閥啟動(dòng)之前爆炸。如果泄放硅烷時(shí)壓力過(guò)高或速度過(guò)快會(huì)引起滯后性的爆炸。泄漏的硅烷如沒(méi)有自燃會(huì)非常危險(xiǎn)，不要靠近。處理緊急情況的人員必須要有個(gè)人防護(hù)設(shè)備和適應(yīng)當(dāng)時(shí)情況的防火保護(hù)。不要試圖在切斷氣源之前滅火。
硅烷氣體無(wú)色，劇毒，易燃燒氣體，帶有令人生厭的大蒜味。
硅烷氣體用途
硅烷氣體用途：硅的外延生長(zhǎng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太陽(yáng)能電池，光導(dǎo)纖維，有色玻璃制造，化學(xué)氣相淀積。紐瑞德特種氣體供應(yīng)高純硅烷氣體，硅烷價(jià)格全網(wǎng)最實(shí)在！硅烷氣體用于集成電路制造、太陽(yáng)能電池、涂膜反射玻璃等。
硅烷氣體理化性質(zhì)
硅烷氣體理化性質(zhì): 硅烷在常溫常壓下為具有惡臭的無(wú)色氣體。在溫室下著火，在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒。即使用其他氣體稀釋，如果濃度不夠低，仍能自燃。硅烷在氬氣中含2%，氮?dú)庵泻?.5%，氫氣中含1%，它仍能著火。硅烷濃度在小于1%時(shí)不燃，大于3%時(shí)自燃，1%～3%時(shí)可能燃燒。
使用注意事項(xiàng)
硅烷氣體注意事項(xiàng)：使用硅烷的工作場(chǎng)所要通風(fēng)，保持室內(nèi)空氣干燥。硅烷裝置要嚴(yán)格密封，避免和空氣、水分相接觸，為此，用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空，這樣反復(fù)進(jìn)行置換和抽真空，一定要徹底清除系統(tǒng)中的空氣和水分。裝置使用以后，也要用惰性氣體置換清洗系統(tǒng)中的硅烷?？梢杂煤ぬ铰┢魈铰Ｉ倭抗柰樾孤r(shí)，從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處，要遠(yuǎn)離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場(chǎng)所要配備足夠的防護(hù)用品及應(yīng)急用品。硅烷無(wú)腐蝕性，可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹(shù)脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤(rùn)滑油、玻璃。凡是可燃性的有機(jī)高分子材料應(yīng)該避免使用。當(dāng)硅烷大量泄漏時(shí)。緊接著就要著火，所以無(wú)法用滅火器滅火。但是可以控制火勢(shì)，使火災(zāi)不向周?chē)?。燃燒時(shí)輻射熱不太高，所以應(yīng)盡可能去關(guān)閉閥門(mén)以止住氣體的流出?？捎冒籽┦刍蚴巯ɑ?。廢氣可用水或堿吸收，或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專門(mén)的過(guò)濾器捕捉。儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。密閉操作，局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專培訓(xùn)，嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過(guò)濾式防毒（半面罩）。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。