安全データシート
三弗化窒素
改訂日：2024-01-29版番號：1
製品識別子
- 製品名: 三弗化窒素
- CB番號: CB7152340
- CAS: 7783-54-2
- 同義語: 三弗化窒素
物質(zhì)または混合物の関連する特定された用途、および推奨されない用途
- 関連する特定用途: 半導體化學でプラズマエッチング液フッ化水素レーザー
- 推奨されない用途: なし
會社ID
- 會社名：Chemicalbook
- 住所：北京市海淀區(qū)上地十街匯煌國際1號棟
- 電話：400-158-6606
GHS分類
分類実施日H22.3.16、政府向けGHS分類ガイダンス(H21.3版)を使用
物理化學的危険性
酸化性液體 分類対象外
酸化性固體 分類対象外
有機過酸化物 分類対象外
金屬腐食性物質(zhì) 分類できない
水反応可燃性化學品 分類対象外
自己発熱性化學品 分類対象外
自然発火性固體 分類対象外
自然発火性液體 分類対象外
自己反応性化學品 分類対象外
可燃性固體 分類対象外
引火性液體 分類対象外
高圧ガス 高圧液化ガス
支燃性?酸化性ガス類 區(qū)分1
可燃性?引火性エアゾール 分類対象外
可燃性?引火性ガス 區(qū)分外
火薬類 分類対象外
健康に対する有害性
急性毒性(経口) 分類できない
急性毒性(経皮) 分類できない
急性毒性(吸入:ガス) 區(qū)分4
急性毒性(吸入:蒸気) 分類対象外
急性毒性(吸入:粉じん) 分類対象外
急性毒性(吸入:ミスト) 分類対象外
皮膚腐食性?刺激性 分類できない
眼に対する重篤な損傷?眼刺激性 分類できない
呼吸器感作性 分類できない
皮膚感作性 分類できない
生殖細胞変異原性 分類できない
発がん性 分類できない
生殖毒性 分類できない
特定標的臓器?全身毒性(単回ばく露) 區(qū)分2(血液系)
特定標的臓器?全身毒性(反復ばく露) 區(qū)分2(肝臓、腎臓)
吸引性呼吸器有害性 分類対象外
環(huán)境に対する有害性
水生環(huán)境慢性有害性 分類できない
水生環(huán)境急性有害性 分類できない
ラベル要素
絵表示又はシンボル
危険
危険有害性情報
長期にわたる、または、反復ばく露により肝臓、腎臓の障害のおそれ
血液系の障害のおそれ
吸入すると有害
加圧ガス:熱すると爆発のおそれ
発火または火災助長のおそれ:酸化性物質(zhì)
注意書き
この製品を使用する時に、飲食または喫煙をしないこと。
【応急措置】
火災の場合、安全に対処できるならば漏洩を止めること。
吸入した場合、空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
吸入した場合、気分が悪い時は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
ばく露した時、または気分が悪い時は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
気分が悪い時は、醫(yī)師の診斷、手當てを受けること。
【保管】
換気の良い場所で保管すること。
日光から遮斷し、換気の良い場所で保管すること。
施錠して保管すること。
【廃棄】
內(nèi)容物、容器を都道府県知事の許可を受けた専門の廃棄物処理業(yè)者に業(yè)務委託すること。
取扱い後はよく手を洗うこと。
ガスを吸入しないこと。
屋外または換気の良い場所でのみ使用すること。
減圧バルブにはグリースおよび油を使用しないこと。
禁忌物質(zhì)から遠ざけること。
【安全対策】
- 化學名又は一般名: 三弗化窒素
- 別名: 三フッ化窒素、トリフルオロアミン、(Trifluoroamine)、ペルフルオロアンモニア、(Perfluoroammonia)
- 分子式 (分子量): F3N(71)
- CAS番號: 7783-54-2
- 官報公示整理番號(化審法?安衛(wèi)法): 化審法-(1)-1218 安衛(wèi)法-1-(3)-288
- 分類に寄與する不純物及び安定化添加物: データなし
- 濃度又は濃度範囲: 100%
吸入した場合
空気の新鮮な場所に移し、呼吸しやすい姿勢で休息させること。
気分が悪い時は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
皮膚に付著した場合
気分が悪い時は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
水と石鹸で洗うこと。
目に入った場合
気分が悪い時は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
水で數(shù)分間注意深く洗うこと。
飲み込んだ場合
気分が悪い時は、醫(yī)師に連絡(luò)すること。
口をすすぐこと。
予想される急性癥狀及び遅発性癥狀
経口摂取 : データなし
眼:データなし
皮膚:データなし
吸入:データなし
最も重要な兆候及び癥狀
肝臓、腎臓に影響を與えることがある。反復あるいは長期にわたる吸入ばく露によりフッ素沈著を引き起こすことがある。
応急措置をする者の保護
データなし
醫(yī)師に対する特別注意事項
データなし
消火剤
水噴霧、泡消火剤、粉末消火剤、炭酸ガス、乾燥砂類
使ってはならない消火剤
棒狀放水
特有の危険有害性
加熱により容器が爆発するおそれがある。
燃焼している可燃物の性狀に適した消化方法を利用すること
破裂したボンベが飛翔するおそれがある。
火炎に包まれたボンベは、安全弁から支燃性ガスの放出のおそれがある。
火災時に刺激性、腐食性及び毒性のガスを発生するおそれがある。
それ自身は燃えないが、支燃性である。
特有の消火方法
容器が熱に曬されているときは、移動させない。
危険でなければ火災區(qū)域から容器を移動する。
安全に対処できるならば著火源を除去すること。
消火後も、大量の水を用いて十分に容器を冷卻する。
ガスの滯留しない場所で風上より消火し、漏洩防止処置を施す。
損傷したボンベは専門家だけが取り扱う。
火を封じ込み燃焼させる。消火が必要であれば、注水又は水噴霧が推奨される。
消火を行う者の保護
適切な空気呼吸器、防護服(耐熱性)を著用する。
消火作業(yè)の際は、空気呼吸器を含め適切な防護服(耐熱性)を著用する。
人體に対する注意事項、保護具および緊急措置
全ての著火源を取り除く。
直ちに、全ての方向に適切な距離を漏洩區(qū)域として隔離する。
関係者以外の立入りを禁止する。
風上に留まる。
低地から離れる。
ガスが拡散するまでその區(qū)域を立入禁止とする。
密閉された場所は換気する。
環(huán)境に対する注意事項
環(huán)境中に放出してはならない。
回収?中和
危険でなければガス漏れを止める。
封じ込め及び浄化方法?機材
危険でなければ漏れを止める。
可能ならば、漏洩している容器を回転させ、液體でなく気體が放出するようにする。
二次災害の防止策
可燃物(木、紙、油等)は漏洩物から隔離する。
ガスが拡散するまでその場所を隔離する。
排水溝、下水溝、地下室あるいは閉鎖場所への流入を防ぐ。
すべての発火源を速やかに取除く(近傍での喫煙、火花や火炎の禁止)。
取扱い
技術(shù)的対策『8.ばく露防止及び保護措置』に記載の設(shè)備対策を行い、保護具を著用する。
局所排気?全體換気
『8.ばく露防止及び保護措置』に記載の局所排気、全體換気を行う。
安全取扱い注意事項
屋外または換気の良い場所でのみ使用すること。
ガスを吸入しないこと。
取扱い後はよく手を洗うこと。
この製品を使用する時に、飲食または喫煙をしないこと。
減圧バルブにはグリースおよび油を使用しないこと。
接觸回避
『10.安定性及び反応性』を參照。
保管
技術(shù)的対策高圧ガス法の規(guī)制に従う。
混觸危険物質(zhì)
『10.安定性及び反応性』を參照。
保管條件
容器を密閉して冷乾所にて保存すること。
禁忌物質(zhì)から離して保管すること。
容器包裝材料
データなし
管理濃度
未設(shè)定 (2009年度)
許容濃度 (ばく露限界値?生物學的ばく露指標)
日本産衛(wèi)學會未設(shè)定 (2009年度)
ACGIH
TWA 10ppm (2009年度)
設(shè)備対策
この物質(zhì)を貯蔵ないし取扱う作業(yè)場には洗眼器と安全シャワーを設(shè)置すること。
作業(yè)場には全體換気裝置、局所排気裝置を設(shè)置すること。
保護具
呼吸器の保護具適切な呼吸器保護具を著用すること。
手の保護具
適切な保護手袋を著用すること。
眼の保護具
適切な眼の保護具を著用すること。
皮膚及び身體の保護具
適切な保護衣を著用すること。
衛(wèi)生対策
取扱い後はよく手を洗うこと。
物理的狀態(tài)
形狀気體
色
無色
臭い
カビ臭 : HSDB (2009)
pH
データなし
融點?凝固點
-206.79℃ : Lide (88th, 2008)
沸點、初留點及び沸騰範囲
-128.75℃ : Lide (88th, 2008)
引火點
不燃性ガス(ICSC(J) (2004)
自然発火溫度
データなし
燃焼性(固體、ガス)
データなし
爆発範囲
データなし
蒸気圧
データなし
蒸気密度
データなし
蒸発速度(酢酸ブチル=1)
データなし
比重(密度)
1.885g/cm3 (-129℃)(liq) : HSDB (2009)
溶解度
データなし
水に不溶 : Merck (14th, 2006)
オクタノール?水分配係數(shù)
データなし
分解溫度
データなし
粘度
データなし
粉じん爆発下限濃度
データなし
最小発火エネルギー
データなし
體積抵抗率(導電率)
データなし
安定性
法規(guī)制に従った保管及び取扱においては安定と考えられる
危険有害反応可能性
加熱により分解し、フッ化物を含む有毒なヒュームを生じる。強力な酸化剤で、可燃性物質(zhì)や還元性物質(zhì)と反応する。アンモニア、一酸化炭素、ジボラン、水素、硫化水素、メタン、テトラフルオロヒドラジンと激しく反応し、爆発の危険をもたらす。金屬を侵す。電気の火花により分解する。加熱すると、破裂の危険を伴う圧力上昇が起こる。
避けるべき條件
加熱、電気の火花
混觸危険物質(zhì)
可燃性物質(zhì)や還元性物質(zhì)、アンモニア、一酸化炭素、ジボラン、水素、硫化水素、メタン、テトラフルオロヒドラジン
危険有害な分解生成物
フッ化物を含む有毒なヒューム
急性毒性
経口データなし
経皮
データなし
吸入
吸入(ガス): ラットのLC50値 6700 pm/1hr (3350 ppm/4hr)(ACGIH (2001))に基づき、區(qū)分4とした。
吸入(蒸気): GHSの定義におけるガスである。
吸入(粉じん?ミスト): GHSの定義におけるガスである。
皮膚腐食性?刺激性
データなし
眼に対する重篤な損傷?刺激性
データなし
呼吸器感作性又は皮膚感作性
呼吸器感作性:データなし
皮膚感作性:データなし
生殖細胞変異原性
データなし
発がん性
データなし
生殖毒性
データなし
殘余廃棄物
廃棄の前に、可能な限り無害化、安定化及び中和等の処理を行って危険有害性のレベルを低い狀態(tài)にする。
廃棄においては、関連法規(guī)並びに地方自治體の基準に従うこと。
汚染容器及び包裝
容器は清浄にしてリサイクルするか、関連法規(guī)並びに地方自治體の基準に従って適切な処分を行う。
空容器を廃棄する場合は、內(nèi)容物を完全に除去すること。
國際規(guī)制
海上規(guī)制情報IMOの規(guī)定に従う。
UN No.
2451
Proper Shipping Name.
NITROGEN TRIFLUORIDE
Class
2.2
Sub Risk
5.1
Packing Group
-
Marine Pollutant
Not Applicable
航空規(guī)制情報
ICAO?IATAの規(guī)定に従う。
UN No.
2451
Proper Shipping Name.
Nitrogen trifluoride
Class
2.2
Sub Risk
5.1
Packing Group
-
國內(nèi)規(guī)制
陸上規(guī)制情報高圧ガス保安法の規(guī)定に従う。
海上規(guī)制情報
船舶安全法の規(guī)定に従う。
國連番號
2451
品名
三フッ化窒素
クラス
2.2
副次危険
5.1
容器等級
-
海洋汚染物質(zhì)
非該當
航空規(guī)制情報
航空法の規(guī)定に従う。
國連番號
2451
品名
三フッ化窒素
クラス
2.2
副次危険
5.1
等級
-
特別安全対策
移送時にイエローカードの保持が必要。
食品や飼料と一緒に輸送してはならない。
輸送に際しては、直射日光を避け、容器の破損、腐食、漏れのないように積み込み、荷崩れの防止を確実に行う。
重量物を上積みしない。
緊急時応急措置指針番號
122
労働安全衛(wèi)生法
変異原性が認められた新規(guī)化學物質(zhì)(法第57條の3第1項、労働基準局長通達) 三フッ化窒素
船舶安全法
高圧ガス(危規(guī)則第3條危険物告示別表第1)
航空法
高圧ガス(施行規(guī)則第194條危険物告示別表第1)
港則法
危険物?高圧ガス(法第21條2、則第12條、昭和54告示547別表二イ)
略語と頭字語
ADR: 道路による危険物の國際輸送に関する歐州協(xié)定
CAS: ケミカルアブストラクトサービス
EC50: 有効濃度 50%
IATA:國際航空運送協(xié)會
IMDG: 國際海上危険物
LC50: 致死濃度 50%
LD50: 致死量 50%
RID: 鉄道による危険物の國際運送に関する規(guī)則
STEL: 短期暴露限度
TWA: 時間加重平均
參考文獻
【1】労働安全衛(wèi)生法 ウェブサイト https://www.mhlw.go.jp
【2】化學物質(zhì)審査規(guī)制法(化審法)https://www.env.go.jp
【3】化學物質(zhì)排出把握管理促進法(PRTR法) https://www.chemicoco.env.go.jp
【4】NITE化學物質(zhì)総合情報提供システム (NITE-CHRIP)https://www.nite.go.jp/
【5】カメオケミカルズ公式サイト http://cameochemicals.noaa.gov/search/simple
【6】ChemIDplus、ウェブサイト http://chem.sis.nlm.nih.gov/chemidplus/chemidlite.jsp
【7】ECHA - 歐州化學物質(zhì)庁、ウェブサイト https://echa.europa.eu/
【8】eChemPortal - OECD 化學物質(zhì)情報グローバルポータル、ウェブサイトhttp://www.echemportal.org/echemportal/index?pageID=0&request_locale=en
【9】ERG - 米國運輸省による緊急対応ガイドブック、ウェブサイトhttp://www.phmsa.dot.gov/hazmat/library/erg
【10】有害物質(zhì)に関するドイツ GESTIS データベース、ウェブサイトhttp://www.dguv.de/ifa/gestis/gestis-stoffdatenbank/index-2.jsp
【11】HSDB - 有害物質(zhì)データバンク、ウェブサイト https://toxnet.nlm.nih.gov/newtoxnet/hsdb.htm
【12】IARC - 國際がん研究機関、ウェブサイト http://www.iarc.fr/
【13】IPCS - The International Chemical Safety Cards (ICSC)、ウェブサイトhttp://www.ilo.org/dyn/icsc/showcard.home
【14】Sigma-Aldrich、ウェブサイト https://www.sigmaaldrich.com/
免責事項：
本MSDS中の情報は指定された製品にのみ適用され、特に規(guī)定がない限り、本製品とその他の物質(zhì)の混合物には適用されません。本MSDSは、製品使用者の適切な専門的なトレーニングを受けた者にのみ製品安全情報を提供します。本MSDSの使用者は、本SDSの適用性について獨自に判斷しなければならない。本MSDSの著者は、本MSDSの使用によるいかなる傷害にも責任を負わない。