四（甲乙胺基）鉿,Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV)

四（甲乙胺基）鉿-電子級ALD/CVD前驅(qū)體源

價格	詢價
包裝	25g	50g	100g

最小起訂量	25g
發(fā)貨地	江蘇
更新日期	2024-08-14

產(chǎn)品詳情

中文名稱:四（甲乙胺基）鉿	英文名稱:Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV)
CAS:352535-01-4	品牌: 龍揚生化
產(chǎn)地: 江蘇	保存條件: 常溫
純度規(guī)格: 99.9999%	產(chǎn)品類別: ALD/CVD電子級前驅(qū)體源
別名: TEMAH	分子式: C12H32HfN4

對于柵介質(zhì)層，由于其厚度一般在10nm以下，ALD技術(shù)成為制備柵介質(zhì)層的首選，已經(jīng)用于Intel 45nm節(jié)點的MOS管的制備過程中。相較于CVD、PVD，ALD可以原子級厚度水平控制膜層的沉積，存儲介質(zhì)可通過ALD或CVD技術(shù)制成，而ALD具有優(yōu)越的階梯覆蓋能力，在高深寬比的DRAM中其應(yīng)用將不斷增加。

本公司提供和開發(fā)CVD/ALD所需的前驅(qū)體源，包括可用于沉積高k柵介質(zhì)層HfO?、用于存儲介質(zhì)層的ZrO?、TiO?、Ta?O?等材料的前驅(qū)體。以下為本公司在售的部分前驅(qū)體材料：

介質(zhì)層	前驅(qū)體	名稱	縮寫
HfO?	Hf[N(CH?(C?H?)]?	四（甲乙氨基）鉿	TEMAH
	Hf[N(C?H?)?]?	四（二乙氨基）鉿	TDEAH
	Hf[N(CH?)?]?	四（二甲氨基）鉿	TDMAH
	HfCl?	四氯化鉿	-
ZrO?	Zr[N(CH?)?]?	四（二甲氨基）鋯	TDMAZ
	Zr[N(C?H?)?]?	四（二乙氨基）鋯	TDEAZ
	Hf[N(CH?)(C?H?)]?	四（甲乙氨基）鋯	TEMAZ
TiO?	TiCl?	四氯化鈦	-
TiO?	Ti[N(CH?)?]?	四（二甲氨基）鈦	TDMAT
Ta?O?	Ta[N(CH?)?]?	五（二甲氨基）鉭	PDMAT

關(guān)鍵字：四（甲乙胺基）鉿;TEMAH;352535-01-4;ALD/CVD前驅(qū)體源;Tetrakis(ethylmethyl;

公司簡介

蘇州龍揚生化科技有限公司成立于 2020年 5 月，坐落于江蘇省張家港錦豐鎮(zhèn)，是目前國內(nèi)專業(yè)從事 ALD/CVD 材料研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高科技企業(yè)。公司由高純電子化學品領(lǐng)域的資深專家所創(chuàng)建，具有豐富的前驅(qū)體研發(fā)和生產(chǎn)管理經(jīng)驗。公司主要經(jīng)營原子層淀積（ALD）及化學氣相淀積（CVD）前驅(qū)體源材料、前驅(qū)體包裝容器等，為國內(nèi)外用戶提供高純度多種類的 ALD/CVD 源材料，以及優(yōu)質(zhì)的源瓶配套服務(wù)。目前，相關(guān)產(chǎn)品已在國內(nèi)科研院所和企業(yè)單位批量使用，產(chǎn)品質(zhì)量達到國際先進水平。同時與國內(nèi)外ALD/CVD設(shè)備公司以及知名大學與研究所建立了長期的合作關(guān)系，時刻跟蹤行業(yè)發(fā)展動態(tài)，為中國集成電路相關(guān)行業(yè)發(fā)展夯實基礎(chǔ)。

成立日期	2021-05-08 （4年）	注冊資本	500萬
員工人數(shù)	1-10人	年營業(yè)額	￥ 1000萬-5000萬
主營行業(yè)	納米材料,有機光電,微納米電子技術(shù),合成材料	經(jīng)營模式	貿(mào)易,工廠,試劑,定制,服務(wù)

蘇州龍揚生化科技有限公司

非會員

公司成立：4年
注冊資本：500萬
企業(yè)類型：制造商
主營產(chǎn)品：ALD/CVD電子級前驅(qū)體源
公司地址：張家港市錦豐鎮(zhèn)興業(yè)路2號

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