常用名 五水四甲基氫氧化銨
別 名 四甲基化氫氧化銨 |四甲基氫氧化銨五水合物
英文名 Tetramethylammonium Hydroxide Pentahydrate
簡(jiǎn) 稱 TMAH
CAS號(hào) 10424-65-4
EINECS 200-882-9
分子式 C4H23NO6
分子量 181.229
熔 點(diǎn) 67-70 °C
性 狀 無(wú)色針狀晶體
溶解性 能溶于水。
用 途
作硅橡膠、甲基硅油助劑和極譜分析試劑等。在有機(jī)硅方面,作為二甲基硅油,苯甲基硅油,有機(jī)硅擴(kuò)散泵油,無(wú)溶劑有硅模塑料,有機(jī)硅樹脂硅橡膠等的催化劑。在分析方面,作為極譜試劑,在產(chǎn)品提純方面作為無(wú)灰堿用以沉淀許多金屬元素,在有機(jī)硅片生產(chǎn)中常用作計(jì)算機(jī)硅片面用光亮劑、清洗劑和觸刻劑等。四甲基氫氧化銨作為催化劑,其優(yōu)點(diǎn)是,反應(yīng)完后加熱升溫,可使之分解為氣體而趕走不殘留在產(chǎn)品中。
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