四甲基氫氧化銨(Tetramethylammoniumhydroxide,TMAH)又稱為氫氧化四甲銨、四甲基氫氧化胺,無色至淡黃色液體,是最強的有機堿,極易吸潮,有一定的氨氣味,在空氣中能迅速吸收二氧化碳,在室溫下其蒸汽壓較低,在135~145℃完全分解氣化,高純品在140℃低溫處理也無微量殘渣。
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