電子級(jí)三氯氧磷
CAS:10025-87-3
一、分子式:POCl3
二、分子量:153.33
三、理化性質(zhì)
無(wú)色透明揮發(fā)性液體,具有強(qiáng)烈的刺激性氣味。易水解于潮濕的空氣中,生成磷酸和鹽酸。熔點(diǎn)為1.25℃,沸點(diǎn)為105.1℃,密度為1.675 g/mL。蒸發(fā)熱33.7kJ/mol。接近300℃時(shí),仍很穩(wěn)定。遇到大量水時(shí)會(huì)發(fā)生爆炸。有毒性和腐蝕性。
四、用途
主要用于芯片的N型摻雜,是制作集成電路、太陽(yáng)能電池、光纖預(yù)制棒、分離器件等的液態(tài)磷源,是芯片制程中必須的電子化學(xué)品,同時(shí)電子級(jí)三氯氧磷也是制作高純磷酸酯的原料。
五、包裝
容器:高純石英源瓶、鍍膜高純石英源瓶
外包裝:容器外套厚質(zhì)PVC塑料袋;PE專用箱內(nèi)置海綿緩沖墊
規(guī)格:500ml、1000ml、1500ml,4.5L,5L也可根據(jù)客戶的要求進(jìn)行包裝
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