中文名:氫氟酸
英文名:hydrogen fluoride
中文別名:氟化氫 | 氟氫酸
CAS:7664-39-3
EINECS號:231-634-8
密度:1.15 g/mL
沸點:105°C
熔點:-35°C
分子式:FH
分子量:20.00630
閃點:112°C
外觀:無色發(fā)煙液體
用途:主要用作含氟化合物的原料,也用于氟化鋁和冰晶石的制造,半導(dǎo)體表面刻蝕及用作烷基化的催化劑
一種芯片智能制造用的自動化在線分析氣體監(jiān)測設(shè)備,涉及芯片制造技術(shù)領(lǐng)域,包括加工臺、蝕刻箱和監(jiān)測分析箱,所述加工臺的頂部外側(cè)連接有阻擋層,且阻擋層的內(nèi)側(cè)連接有蝕刻箱,所述蝕刻箱的頂部外側(cè)設(shè)置有抽氣組件。本發(fā)明在線檢測器出現(xiàn)檢測精度誤差時,輸水管能向?qū)庸軆?nèi)注入清水,這使得清水能通過對接管流入至連通管內(nèi)側(cè),氟化氫具有較強的溶水性,并且與水互溶會形成氫氟酸,這使得清水在連通管、分流管以及在線檢測器內(nèi)部流動時,能與殘留在管道內(nèi)的氟化氫充分融合,并且能將融合的氫氟酸通過水流帶離連通管、分流管以及在線檢測器,清水流過在線檢測器后,能通過第四抽吸泵的抽吸流入至排廢箱內(nèi)的廢水室進行儲存
武漢卡諾斯科技有限公司
聯(lián)系商家時請?zhí)峒癱hemicalbook,有助于交易順利完成!
卡諾斯