中文名稱 氫氟酸
英文名稱 Hydrogen fluoride
CAS號 7664-39-3
分子式 FH
分子量 20.01
EINECS號 231-634-8
熔點(diǎn)-35°C
沸點(diǎn)105°C
概述:電子級氫氟酸是微電子行業(yè)的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一,是濕電子化學(xué)品中的一種,由于電子級氫氟酸的純度和潔凈度對集成電路的成品率、性能及可靠性都有著十分重要的影響,生產(chǎn)工藝技術(shù)要求很高,目前主要依靠進(jìn)口產(chǎn)品滿足國內(nèi)市場需求。
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