NPC-4000(A)全自動等離子去膠機(jī)(刻蝕機(jī))概述:NANO-MASTER 等離子刻蝕和清洗系統(tǒng)是專門設(shè)計用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用,從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制,可以配套不同的等離子源,加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。
NPC-4000(A)全自動等離子去膠機(jī)(刻蝕機(jī))產(chǎn)品特點
· 緊湊型立式系統(tǒng)
· 自動上下載片
· 帶Load Lock
· 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
· 兼容100級超凈間使用
· 淋浴頭、ICP或微波等離子源
· 旋轉(zhuǎn)樣品臺
· RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺
· 全自動或手動RF調(diào)諧
· z多可支持8個MFC帶電拋光的氣體管路
· PC計算機(jī)控制的氣動閥
· 帶密碼保護(hù)的多級訪問控制
· 基于LabView軟件的PC計算機(jī)全自動控制
· 機(jī)械泵的壓力可達(dá)到10mTorr
· 250 l/s的渦輪分子泵
· 極限真空為5x10-7Torr
· 完整的安全聯(lián)鎖
應(yīng)用:
· 有機(jī)物以及無機(jī)物的殘留物去除
· 光刻膠剝離或灰化
· 去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應(yīng)用
· 清洗微電子元件,電路板上的鉆孔或銅線框架
· 提高黏附性,消除鍵合問題
· 塑料的表面改型:O2處理以改進(jìn)涂覆性能
· 產(chǎn)生親水或疏水表面
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