中文名稱:金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備 | 產(chǎn)品類別: 生長系統(tǒng) MOVPE設(shè)備 |
概述:
NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,完全的安全互鎖。
目前,這項技術(shù)延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備應(yīng)用:
Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)MOVPE設(shè)備特點:
獨立系統(tǒng)
14”不銹鋼立方體腔體
1次在8”樣品臺上處理1個6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子
加熱的氣體管路
RF等離子源,自動調(diào)諧
淋浴頭氣體分布
1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺
N2沖洗
手動放置晶圓片
成立日期 | 2015-04-17 (10年) | 注冊資本 | 100萬人民幣 |
員工人數(shù) | 1-10人 | 年營業(yè)額 | ¥ 1000萬-5000萬 |
主營行業(yè) | 其他儀器耗材 | 經(jīng)營模式 | 定制 |
產(chǎn)品名稱 | 價格 | 公司名稱 | 報價日期 | |
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詢價 |
VIP2年
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荊州市尹杰化工有限公司
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2024-11-01 | |
詢價 |
淮北黑體軟件有限公司
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2024-11-01 | ||
詢價 |
安徽正華生物儀器設(shè)備有限公司
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2024-10-31 |