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磷化鎵蝕刻劑GaP,Gallium Phophide ETCH
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磷化鎵蝕刻劑GaP

價(jià)格 詢價(jià)
包裝 1加侖
最小起訂量 1加侖
發(fā)貨地 山東
更新日期 2022-05-06

產(chǎn)品詳情

中文名稱:磷化鎵蝕刻劑GaP英文名稱:Gallium Phophide ETCH
保存條件: 常溫避光通風(fēng)保存產(chǎn)品類別: 蝕刻劑
2022-05-06 磷化鎵蝕刻劑GaP Gallium Phophide ETCH 1加侖/RMB 常溫避光通風(fēng)保存 蝕刻劑
磷化鎵蝕刻劑GaP
(用于光發(fā)射二極管)
 
本品用于光發(fā)射二極管和帶電隔離的陣列中磷化鎵的化學(xué)控制性蝕刻。
 
特點(diǎn)
 
·產(chǎn)生光滑無痕的表面
·不浸蝕硅、鈦光掩膜或波束引導(dǎo)金屬膜
·消除表面損傷
·能蝕刻<100>和<111>晶向
·80℃時(shí)蝕刻速率為5密耳/小時(shí)
 
說明
 
Transene磷化鎵蝕刻劑是設(shè)計(jì)用于制造光發(fā)射二極管和二極管陣列的有效蝕刻劑。它可用來對磷化鎵進(jìn)行化學(xué)控制蝕刻制出面式晶體管結(jié)構(gòu),以滿足生產(chǎn)高效率光發(fā)射二極管和隔離光發(fā)射二極管以產(chǎn)生字母數(shù)字顯示器的矩陣的需要。在隔離過程中,光發(fā)射二極管成型為拱面結(jié)構(gòu),這是高效電發(fā)光裝置所必不可少的。這種蝕刻劑與引導(dǎo)波束技術(shù)還非常匹配。
Transene磷化鎵蝕刻劑對所有晶向都表現(xiàn)很高的蝕刻速率,GaP<100>晶向各晶面都可均勻蝕刻,產(chǎn)生一個(gè)光滑無痕的表面。而<111>向的晶面蝕刻情況有所不同,<111>(Ga的 A面)產(chǎn)生光滑的橘皮樣面,而<111>(P的B面)變得光滑無痕。N型和P型GaP的蝕刻速率彼此相當(dāng)。
GaP蝕刻劑穩(wěn)定無毒、廉價(jià)易用,可用于磷化鎵光發(fā)散二極管和波束引導(dǎo)電發(fā)光裝置。該蝕刻劑不浸蝕Pd、Au和Pt引導(dǎo)波束金屬膜,對Ti和SiO2光掩膜的浸蝕性甚微。
 
磷化鎵蝕刻劑的性質(zhì)
 
外觀琥珀色液體沸點(diǎn)>100℃PH13-14沖洗溶劑水蝕刻速率,80℃時(shí),微米/小時(shí) P型<100>210N型<100>210P型<111> A面(鎵)115B面(磷)210匹配性介電材料濺鍍或硅烷SiO2匹配性光掩膜材料SiO2, Ti, 4U, KMER匹配性波束引導(dǎo)材料Ti, Pd, Au, Cr, Pt建議操作溫度70-80℃蝕刻能力12g/L
 
應(yīng)用
 
Transene磷化鎵蝕刻劑用光發(fā)射二極管的多種生產(chǎn)過程。首先用這種蝕刻劑消除機(jī)械拋光的P型和N型磷化鎵表面上的損傷。接著裝置制備按下列步驟進(jìn)行:
1.    GaP蝕刻劑和SiO2光掩膜制出面式晶體管構(gòu)型圖。
2.    用光刻技術(shù)波束引導(dǎo)金屬和接觸金屬。
3.    用砂輪切割機(jī)把GaP晶片分離到個(gè)別模中,接著用Transene GaP蝕刻劑進(jìn)行化學(xué)蝕刻。


關(guān)鍵字: 磷化鎵蝕刻劑 蝕刻液;

公司簡介

美國Transene蝕刻劑(蝕刻液,腐蝕液)中國供應(yīng)商。金蝕刻劑8148,TFA;鉭蝕刻劑SIE—8607;鋁蝕刻劑,A型; 銀蝕刻劑TFS;鈀蝕刻劑TFP;鉻蝕刻劑1020;加HF改進(jìn)的緩沖劑;BOE; Transene 超聲洗滌劑TUD;鎳蝕刻劑TFB;氮化鉭蝕刻劑;鈦蝕刻劑TFT;銅蝕刻劑;鎳鉻蝕刻劑TFC和TFN;TFM鉬蝕刻和TFW鎢蝕刻劑;半導(dǎo)體蝕刻劑;氧化錫/銦錫蝕刻劑TE100;
成立日期 2016-09-21 (9年) 注冊資本 100.000000萬
員工人數(shù) 10-50人 年?duì)I業(yè)額 ¥ 100萬以內(nèi)
主營行業(yè) 化學(xué)試劑,醫(yī)藥中間體,合成材料中間體,其他中間體,液晶中間體 經(jīng)營模式 貿(mào)易,工廠,試劑,定制,服務(wù)
  • 煙臺科瑞爾化學(xué)科技有限公司
非會員
  • 公司成立:9年
  • 注冊資本:100.000000萬
  • 企業(yè)類型:有限責(zé)任公司
  • 主營產(chǎn)品:吩嗪 酰胺類 等
  • 公司地址:山東省煙臺市芝罘區(qū)海港路29號1506室
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