這些微型電子產(chǎn)品用的鉻薄膜蝕刻劑對(duì)陽(yáng)性和陰性光刻膠都有良好匹配性。用它們可以幫助刻制細(xì)線條，下蝕現(xiàn)象最低。0.2微米過(guò)濾的高純方劑是關(guān)鍵裝置制備的需要的理想產(chǎn)品。 鉻蝕刻劑1020 低下蝕高蝕刻速率 鉻蝕刻劑1020AC 用低蝕刻速度可達(dá)到低下蝕廣匹配性的效果 鉻蝕刻劑CRE-473 與銅、鎳、金和鉬膜相匹配 鉻光掩膜蝕刻劑 是理想的高精密度光掩膜蝕刻劑 鉻金屬陶瓷蝕刻劑 用于鉻—硅膜蝕刻 特點(diǎn) · 高純度 · 0.2微米過(guò)濾品 · 與光刻膠有良好匹配性 · 蝕刻速率和圖案均勻 鉻蝕刻劑1020和1020AC 說(shuō)明 Transene鉻蝕刻劑1020和1020AC是高純高鈰鉻硝酸鹽體系，可以用來(lái)精密清晰地蝕刻鉻和氧化鉻膜。鉻蝕刻劑1020AC不含硝酸，蝕刻速率較低。這兩種蝕刻劑和陰、陽(yáng)性光刻膠都有良好的匹配性。鉻蝕刻劑1020已經(jīng)通過(guò)過(guò)濾去除了所有大于0.2微米的顆粒。鉻蝕刻劑1020AC的邊下蝕現(xiàn)象最微。 性質(zhì) 1020 1020AC外觀澄清，橙色澄清，橙色比重1.127—1.1301.127—1.130過(guò)濾0.2微米-------操作溫度可變可變蝕刻速率，40℃40 ?/秒32 ?/秒貯存室溫室溫沖洗去離子水去離子水 應(yīng)用 蝕刻速率依膜厚度不同而改變。在室溫下，蝕刻時(shí)間為15-60秒。鉻蝕刻劑要在良好通風(fēng)櫥中操作。 鉻蝕刻劑CRE-473 說(shuō)明 鉻蝕刻劑CRE-473是微型電子裝置的鉻的選擇性蝕刻劑。CRE-473能有效蝕刻沉積在銅、鎳、金和鉬基板上的鉻膜。和陰、陽(yáng)性光刻膠都有良好匹配性。 性質(zhì) 外觀水，白色蝕刻速率（在25℃）14 ?/秒操作溫度25-40℃沖洗用去離子水沖洗貯存室溫 應(yīng)用 鉻蝕刻劑CRE-473是取來(lái)便可使用的液體。專門設(shè)計(jì)用來(lái)去除銅、鎳、金和鉬等基板上的鉻膜。將蝕刻劑加熱到40℃可以加快較厚鉻膜的蝕刻速率。 鉻光掩膜蝕刻劑 (用于制備高精密度光掩膜) 本品為改進(jìn)的鉻蝕刻劑，可用于制備高質(zhì)量鉻光掩膜新技術(shù)。用于在微型電子產(chǎn)品中去除鍍?cè)诓Ａ系你t以制出光掩膜圖。 特點(diǎn) ·與光刻膠具有良好匹配性 ·可室溫操作 ·可觀察的蝕刻控制 ·在亞微米范圍清晰確定 ·廉價(jià)經(jīng)濟(jì) 說(shuō)明 Transene鉻光掩膜蝕刻劑設(shè)計(jì)用于制造鉻金屬光掩膜的新技術(shù)中的高要求的蝕刻工藝過(guò)程。這種鉻光掩膜生產(chǎn)成本低，當(dāng)用于微型電子產(chǎn)品中時(shí)其性能優(yōu)于乳液型光掩膜。 Transene蝕刻劑可以精密蝕刻鉻。它代替通常的有害實(shí)驗(yàn)室蝕刻劑用于光掩膜生產(chǎn)工藝，具有無(wú)毒無(wú)害的優(yōu)點(diǎn)。這種蝕刻劑可室溫操作，可進(jìn)行直觀蝕刻控制，和陰、陽(yáng)性光刻膠都有良好匹配性。能夠很好記錄細(xì)線條和幾何圖形，公差在低于微米的數(shù)量級(jí)范圍。Transene鉻光掩膜蝕刻劑可一般成功用于柯達(dá)（Kodak）鍍鉻板和玻璃鍍鉻板。 鉻光掩膜蝕刻劑性質(zhì) 蝕刻速率25℃時(shí)為800 ?/秒 40℃時(shí)為2400 ?/秒蝕刻能力3mg鉻/ml蝕刻劑操作溫度25℃溶解性可溶于水貯存條件室溫貯存壽命無(wú)限長(zhǎng)應(yīng)用 建議使用的光刻膠材料，包括陰性和陽(yáng)性光刻膠要與鉻光掩膜蝕刻劑要有良好匹配性。這樣便可以使鉻上的微型圖案具有重觀性。這種蝕刻劑可直接用于柯達(dá)（Kodak）金屬鍍板P，它是在鍍鉻玻璃板加涂一層陽(yáng)性光刻膠而制成的。 操作步驟要按指導(dǎo)意見(jiàn)上所敘述的進(jìn)行(報(bào)告1-147)。一般說(shuō)來(lái)，蝕刻過(guò)程包括下列步驟： 1. 涂加光刻膠 2. 預(yù)烘烤 3. 在紫外光源下將光刻膠暴光 4. 光刻膠顯影 5. 后烘烤 6. 蝕刻鉻 基板上鍍鉻層的厚度為800 ?數(shù)量級(jí)。因此，蝕刻時(shí)間在60秒左右。 鉻蝕刻劑CE-8001-N CE-8001-N型鉻蝕刻劑是一種高鈰銨硝酸鹽/硝酸蝕刻溶液，可用于所有類型鉻板的蝕刻。蝕刻速率要依基板鉻的密度和工藝條件而定。在室溫下（25℃）的蝕刻時(shí)間在15-55秒鐘范圍內(nèi)。這種蝕刻劑可以和一種添加的表面活性劑（CE-8001-NS）一起供應(yīng)。 物理和化學(xué)性質(zhì) 外觀橘黃色澄清液體PH（20℃）<1.0比重(20℃)1.103-1.105過(guò)濾0.1微米金屬滿足或優(yōu)于SEMI標(biāo)準(zhǔn) 貯存和處理 在室溫下貯存，避免日光直接照射，當(dāng)不用時(shí)貯藏容器要密封。這是一種氧化性酸溶液，處理時(shí)要當(dāng)心。萬(wàn)一接觸到眼和皮膚時(shí)，要用大量清水沖洗，炎癥持續(xù)時(shí)，要請(qǐng)醫(yī)生診治。 包裝 1加侖塑料瓶裝 鉻蝕刻劑 CE-8002-A CE-8002-A鉻蝕刻劑是一種高鈰銨/醋酸蝕刻溶液，用于需要蝕刻速率低、無(wú)邊下蝕的情況下鉻基板的蝕刻。一般來(lái)說(shuō)，在室溫下（25℃）的蝕刻時(shí)間在20-60鈔范圍內(nèi)。 物理和化學(xué)性質(zhì) 外觀淡橙色澄清液體PH（20℃）＜1.0比重（20℃）1.090-1.095過(guò)濾0.2微米金屬滿足或超過(guò)SEMI標(biāo)準(zhǔn) 貯存和處理 在室溫下避開(kāi)陽(yáng)光曝曬貯存，不使用時(shí)容器要密封。這是一種氧化性酸溶液，處理時(shí)要當(dāng)心。萬(wàn)一接觸到眼或皮膚時(shí)，要用大量清水沖洗。如果炎癥不消，要請(qǐng)醫(yī)生診治。 包裝 1加侖塑料瓶裝 |