硅氮烷是具有Si-N鍵的胺的硅類似物，是一種具有獨特性能的有機化合物，在新材料領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，尤其是在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用。但是，在硅氮烷類化合物合成過程中，反應(yīng)條件往往十分苛刻，若生產(chǎn)過程中溫度、壓力控制不當(dāng)，就可能導(dǎo)致產(chǎn)品中存在較高的雜質(zhì)。因此，對硅氮烷類化合物純度的準(zhǔn)確分析，是對生產(chǎn)過程的有效控制，也是產(chǎn)品質(zhì)量控制的重要內(nèi)容之一。本文將介紹一種利用氣相色譜測定六甲基二硅氮烷純度的方法^[1]。

精確確定材料中的雜質(zhì)含量，測定硅氮烷類化合物的純度是至關(guān)重要的，硅氮烷類純度分析方法有多種，如色譜法、熱分解法、熱重分析法等，但色譜法是應(yīng)用較為廣泛的一種方法。采用氣相色譜法測定硅氮烷類純度，分析過程簡單，分析速度快。本文根據(jù)T/FSI 012-2017的方法，經(jīng)過檢測條件的優(yōu)化，建立了GC-4100氣相色譜儀檢測六甲基二硅氮烷純度的方法。實驗條件見下圖。

實驗過程中，使用了面積歸一法定量。本文實驗表明，該方法操作簡單、線性及重復(fù)性良好，測試結(jié)果準(zhǔn)確，可以滿足硅氮烷類化合物的純度測定需求，供相關(guān)人員參考。