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N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilantriamin

TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE Struktur
15112-89-7
CAS-Nr.
15112-89-7
Bezeichnung:
N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilantriamin
Englisch Name:
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
Synonyma:
TDMAS;3DMAS;DK087;LS 1460;amino)siL;(Me2N)3SiH;3DMAS : [(CH3)2N]3SiH;Tris(dimethyamino)silane;Tri(dimethylamino)silane;TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CBNumber:
CB1241150
Summenformel:
C6H19N3Si
Molgewicht:
161.32
MOL-Datei:
15112-89-7.mol

N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilantriamin Eigenschaften

Schmelzpunkt:
<0°C
Siedepunkt:
145 °C
Dichte
0,838 g/cm3
Brechungsindex
1.4247
Flammpunkt:
25°C
pka
10.93±0.70(Predicted)
Aggregatzustand
liquid
Farbe
colorless to light yellow
Wichte
0.84
Sensitive 
air sensitive, moisture sensitive
Hydrolytic Sensitivity
8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
EPA chemische Informationen
Sicherheit
  • Risiko- und Sicherheitserkl?rung
  • Gefahreninformationscode (GHS)
Kennzeichnung gef?hrlicher F,C
R-S?tze: 10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11
S-S?tze: 16-26-36/37/39-45-43
RIDADR  1993
WGK Germany  3
RTECS-Nr. VV5800000
TSCA  Yes
Toxizit?t rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989.
Bildanzeige (GHS) GHS hazard pictogramsGHS hazard pictogramsGHS hazard pictograms
Alarmwort Achtung
Gefahrenhinweise
Code Gefahrenhinweise Gefahrenklasse Abteilung Alarmwort Symbol P-Code
H225 Flüssigkeit und Dampf leicht entzündbar. Entzündbare Flüssigkeiten Kategorie 2 Achtung GHS hazard pictogramssrc="/GHS02.jpg" width="20" height="20" /> P210,P233, P240, P241, P242, P243,P280, P303+ P361+P353, P370+P378,P403+P235, P501
H261 In Berührung mit Wasser entstehen entzündbare Gase. Stoffe und Gemische, die in Berührung mit Wasser entzündbare Gase entwickeln (Kapitel 2.12), Kategorie 2 (Water-react. 2), H261 Stoffe und Gemische, die in Berührung mit Wasser entzündbare Gase entwickeln (Kapitel 2.12), Kategorie 2 Achtung
Warnung		 GHS hazard pictogramssrc="/GHS02.jpg" width="20" height="20" /> P231+P232, P280, P370+P378,P402+P404, P501
H302 Gesundheitssch?dlich bei Verschlucken. Akute Toxizit?t oral Kategorie 4 Warnung GHS hazard pictogramssrc="/GHS07.jpg" width="20" height="20" /> P264, P270, P301+P312, P330, P501
H311 Giftig bei Hautkontakt. Akute Toxizit?t dermal Kategorie 3 Achtung GHS hazard pictogramssrc="/GHS06.jpg" width="20" height="20" /> P280, P302+P352, P312, P322, P361,P363, P405, P501
H314 Verursacht schwere Ver?tzungen der Haut und schwere Augensch?den. ?tzwirkung auf die Haut Kategorie 1B Achtung GHS hazard pictogramssrc="/GHS05.jpg" width="20" height="20" /> P260,P264, P280, P301+P330+ P331,P303+P361+P353, P363, P304+P340,P310, P321, P305+ P351+P338, P405,P501
H330 Lebensgefahr bei Einatmen. Akute Toxizit?t inhalativ Kategorie 1 Achtung GHS hazard pictogramssrc="/GHS06.jpg" width="20" height="20" /> P260, P271, P284, P304+P340, P310,P320, P403+P233, P405, P501
Sicherheit
P210 Von Hitze, hei?en Oberfl?chen, Funken, offenen Flammen und anderen Zündquellenarten fernhalten. Nicht rauchen.
P231+P232 Unter inertem Gas handhaben. Vor Feuchtigkeit schützen.
P280 Schutzhandschuhe/Schutzkleidung/Augenschutz tragen.
P303+P361+P353 BEI BERüHRUNG MIT DER HAUT (oder dem Haar): Alle kontaminierten Kleidungsstücke sofort ausziehen. Haut mit Wasser abwaschen oder duschen.
P305+P351+P338 BEI KONTAKT MIT DEN AUGEN: Einige Minuten lang behutsam mit Wasser spülen. Eventuell vorhandene Kontaktlinsen nach M?glichkeit entfernen. Weiter spülen.

N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilantriamin Chemische Eigenschaften,Einsatz,Produktion Methoden

R-S?tze Betriebsanweisung:

R10:Entzündlich.
R36/37/38:Reizt die Augen, die Atmungsorgane und die Haut.

S-S?tze Betriebsanweisung:

S16:Von Zündquellen fernhalten - Nicht rauchen.
S26:Bei Berührung mit den Augen sofort gründlich mit Wasser abspülen und Arzt konsultieren.
S36/37/39:Bei der Arbeit geeignete Schutzkleidung,Schutzhandschuhe und Schutzbrille/Gesichtsschutz tragen.

Verwenden

Tris(dimethylamino)silane (TDMAS) is used as an organosilicon source for the deposition of Si oxynitride; carbonitride; nitride and oxide thin films. It is also used to form multicomponent silicon containing thin films. The depositions can be carried out at low substrate temperatures (<150). The melting point and vapor pressure of TDMAS is in a suitable working range; thus making it a very good vapor deposition precursor.

Allgemeine Beschreibung

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N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilantriamin Upstream-Materialien And Downstream Produkte

Upstream-Materialien

Downstream Produkte

N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilantriamin Anbieter Lieferant Produzent Hersteller Vertrieb H?ndler.

Global( 92)Lieferanten
Firmenname Telefon E-Mail Land Produktkatalog Edge Rate
Shaanxi Dideu Medichem Co. Ltd 		+86-29-81148696 +86-15536356810
 1022@dideu.com China 3882 58
Shanghai Daken Advanced Materials Co.,Ltd 		+86-371-66670886
info@dakenam.com China 18751 58
ATK CHEMICAL COMPANY LIMITED 		+undefined-21-51877795
ivan@atkchemical.com China 32957 60
Win-Win Chemical CO., Limited 		0086-577-64498589
sales@win-winchemical.com CHINA 998 58
Hubei Jusheng Technology Co.,Ltd. 		18871490254
linda@hubeijusheng.com CHINA 28172 58
career henan chemical co 		+86-0371-86658258 +8613203830695
 factory@coreychem.com China 29811 58
Hubei Co-Formula Material Tech Co., Ltd. 		+86-27-84459282
sales@cfmats.com CHINA 882 58
Antai Fine Chemical Technology Co.,Limited 		18503026267
 info@antaichem.com CHINA 9636 58
Hefei TNJ Chemical Industry Co.,Ltd. 		+86-0551-65418671 +8618949823763
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