999-97-3
中文名稱
六甲基二硅氮烷
英文名稱
Hexamethyldisilazane
CAS
999-97-3
EINECS 編號
213-668-5
分子式
C6H19NSi2
MDL 編號
MFCD00008259
分子量
161.39
MOL 文件
999-97-3.mol
更新日期
2024/12/20 18:41:13
999-97-3 結構式
基本信息
中文別名
六甲基二硅氮烷六甲基二硅烷胺
六甲基二硅亞胺
1,1,1-三甲基-N-(三甲基甲硅烷基)硅烷胺
六甲基二硅氨烷
六甲基二硅胺
六甲基二硅胺烷
藥用硅氮烷
六甲基二硅基胺
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷電子級
六甲基二矽氯烷
六甲二矽烷
六甲基二硅烷胺(HMDS)
六甲基二硅雜氮烷, 98+%
1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷, ELECTRONIC GRAD
六甲基二硅雜氮烷, ELECTRONIC GRADE, 99+%
英文別名
1,1,1,3,3,3-HEXAMETHYLDISILAZANE1,1,1-Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
BIS(TRIMETHYLSILYL)AMINE
HEXAMETHYLDISILAZANE
hexamethyl disilizane
HEXAMETHYLDISILYLAMINE
HMDS
LABOTEST-BB LT01408762
SILAZANE HMN
((CH3)3Si)2NH
1,1,1,3,3,3-hexamethyl-disilazan
1,1,1-trimethyl-n-(trimethylsilyl)-silanamin
Disilazane, 1,1,1,3,3,3-hexamethyl-
hexamethyldisilazane(hmds)
hexamethylsilazane
sz6079
Trimethyl-N-(trimethylsilyl)silanamine
tsl8802
1,1,1,3,3,3-Hexamithyl disilazane
(dimethyl-trimethylsilylamino-silyl)methane
所屬類別
有機原料：有機硅化合物物理化學性質
外觀性質無色、透明、易流動液體。
外觀性狀無色透明易流動液體。沸點125℃，相對密度0.76（20/4℃）。溶于有機溶劑，與空氣接觸會迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚。閃點-1℃。
溶解性溶于多數(shù)有機溶劑。
熔點-78 °C
沸點125 °C(lit.)
密度0.774 g/mL at 25 °C(lit.)
蒸氣密度4.6 (vs air)
蒸氣壓20 hPa (20 °C)
折射率n20/D 1.407(lit.)
閃點57.2 °F
儲存條件2-8°C
溶解度與丙酮、苯、乙醚、庚烷和全氯乙烯混溶。
酸度系數(shù)(pKa)30(at 25℃)
形態(tài)液體
比重0.774
顏色無色
氣味 (Odor)氨氣味
酸堿指示劑變色ph值范圍8.5
爆炸極限值(explosive limit)0.8-25.9%(V)
水溶解性REACTS
敏感性濕氣敏感
水解敏感性7: reacts slowly with moisture/water
Merck14,4689
BRN635752
InChIKeyFFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N
LogP0.23-1.19 at 20-25℃
CAS 數(shù)據(jù)庫999-97-3(CAS DataBase Reference)
存儲注意事項氮氣保護;濕度敏感
EPA化學物質信息Hexamethyldisilazane (999-97-3)
安全數(shù)據(jù)
警示詞危險
危險品標志F,C
危險類別碼R11-R20/21/22-R34
危險品運輸編號UN 3286 3/PG 2
WGK Germany2
RTECS號JM9230000
F21
自燃溫度325 °C
Hazard NoteFlammable
TSCAYes
危險等級3
包裝類別II
海關編碼29319090
毒害物質數(shù)據(jù)999-97-3(Hazardous Substances Data)
毒性LDLO i.p. in mice: 650 mg/kg (Petrarch Systems Inc. Product Information Sheets)
應用領域
用途一
特種有機合成。阿米卡星、盤尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等合成過程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結助劑。用途二
為阿米卡星藥用中間體，是羥基及氨基保護劑用途三
用于生產(chǎn)橡膠、藥物。該品是消減氣相色譜載體表面吸附活的減尾劑。用途四
堿性硅烷化保護劑，無機填料處理劑制備方法
方法一
將109g（1.0mol）三甲基氯硅烷溶于500ml無水乙醚，通入氨氣，立即出現(xiàn)白色沉淀。加熱至回流，慢慢通氨維持6h，使氯化銨沉降、過濾，取乙醚溶液先蒸出乙醚，再蒸出六甲基二硅氨烷，得52.5g，收率65%。999-97-3(安全特性,毒性,儲運)
儲運特性
庫房通風低溫干燥; 與氧化劑、酸類分開存放毒性分級
中毒急性毒性
口服- 大鼠 LD50: 850 毫克/ 公斤; 口服- 小鼠 LDL0: 850 毫克/ 公斤可燃性危險特性
遇明火、高溫、氧化劑易燃; 遇水分解有毒硅化物氣體; 燃燒產(chǎn)生有毒氮氧化物煙霧類別
易燃液體滅火劑
干粉、干砂、二氧化碳、泡沫、1211滅火劑常見問題列表
有機硅化合物
六甲基二硅氮烷，英文縮寫HMDS，一種重要的有機硅化合物，最常用來增加光刻膠在品圓表面附著力的底漆層，易燃且燃點為6.7℃，當在空氣中的濃度為0.8%-16%時具有爆炸性，HMDS會強烈地與水、酒精和礦物質酸反應釋放出氨水NH3，生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下，與醇或酚反應，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。光刻膠應用
六甲基二硅氮烷 (HMDS) 底涂通常在應用光刻膠之前使用。1970 年，IBM 的 RH Collins 和 FT Devers 在美國專利 3,549,368 中首次描述了 HMDS 作為光刻膠粘合促進劑的用途。該工藝已從基于將晶圓浸入 HMDS 溶液中的做法逐步發(fā)展為基于蒸汽的過程。盡管可以通過旋涂將 HMDS 涂敷在晶圓上，但通常不推薦這樣做，因為 HMDS 厚層的蒸汽蒸發(fā)會在后期造成問題。最典型的 HMDS 應用在真空室中，該真空室將基板的加熱與暴露于 HMDS 蒸氣相結合。
HMDS提高了光刻膠的附著力
由于從環(huán)境濕度中吸收了一層水，硅晶片的表面通常是親水的。為了光刻膠的適當粘附，需要使表面更疏水以更好地匹配光刻膠的化學性質。該過程的第一步稱為脫水烘烤。顧名思義，該步驟的目的是去除晶圓表面的水分。此步驟通常在真空中進行，需要大約 140 至 160 °C 的溫度。如果不去除水層，則在后續(xù)顯影或化學蝕刻過程中存在光刻膠分層的風險。然而，在這一步之后，晶圓表面仍然是親水的，因為脫水使表面恢復到自然狀態(tài)。在原生狀態(tài)下，硅晶片的頂部有一層薄薄的天然氧化物，當暴露在大氣濕度下時會形成。在化學上，這被視為硅表面的 OH 基團。為了使光刻膠正確粘附，表面需要更疏水（防水）。
脫水烘烤從晶圓表面去除多余的材料（即吸附的水），而 HMDS 處理將添加單層材料，使其對光刻膠更具吸引力。脫水烘烤后，表面暴露于蒸汽 HMDS，通常在設置為 130 至 160 °C 的熱底漆烘箱中。晶圓表面的 OH 基團會與 HMDS 的甲基發(fā)生反應，從而使表面更加疏水。表面會更好地與光刻膠的化學成分相匹配，但也不易吸水。
危險性
六甲基二硅氮烷是主危3類副危6.1類/8類的危險貨物，具有以下危險性質：易燃液體和蒸氣，吞咽有害、皮膚接觸會中毒，吸入會中毒。
其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱極易燃燒爆炸，爆炸極限范圍0.8%-16.3%。
與氧化劑接觸猛烈反應。遇水和甲醇發(fā)生化學反應而分解。
知名試劑公司產(chǎn)品信息
Acros Organics
六甲基二硅氮烷1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane, 98%(999-97-3)
Sigma Aldrich
999-97-3(sigmaaldrich)六甲基二硅氮烷價格(試劑級)
| 報價日期 | 產(chǎn)品編號 | 產(chǎn)品名稱 | CAS號 | 包裝 | 價格 |
| 2024/11/08 | L16519 | 六甲基二硅雜氮烷,電子級, 99+% Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+% | 999-97-3 | 25ml | 419元 |
| 2024/11/08 | L16519 | 六甲基二硅雜氮烷,電子級, 99+% Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+% | 999-97-3 | 100ml | 990元 |
| 2024/11/08 | L16519 | 六甲基二硅雜氮烷,電子級, 99+% Hexamethyldisilazane, Electronic grade, 99+% | 999-97-3 | 500ml | 3310元 |