4109-96-0
中文名稱(chēng)
二氯硅烷
英文名稱(chēng)
Dichlorosilane
CAS
4109-96-0
EINECS 編號(hào)
223-888-3
分子式
Cl2H2Si
MDL 編號(hào)
MFCD00011600
分子量
101.01
MOL 文件
4109-96-0.mol
4109-96-0 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
二氯硅烷三氯矽烷
電子級(jí)高純二氯二氨硅
英文別名
DICHLOROSILANEDICHLOROSILANE 99
dichloro-silan
dichlorsilane
siliconchloridehydride
DICHLOROSILANE 227 G (IN LECTURE
DICHLOROSILANE, 99.99+%
DICHLOROSILANE 97+%
Silane,dichloro-
DICHLOROSILANE: 99.5%
DICHLOROSILANE: 25% IN XYLENE
dichlorosilane for high purity，electronic grade
所屬類(lèi)別
無(wú)機(jī)化工產(chǎn)品: 無(wú)機(jī)鹽: Cv電子工業(yè)用無(wú)機(jī)化工產(chǎn)品物理化學(xué)性質(zhì)
外觀性質(zhì)無(wú)色氣體。
外觀性狀無(wú)色。易燃。有毒腐蝕性氣體，具有刺激性臭味。熔點(diǎn)-122℃。沸點(diǎn)8.2℃。氣體相對(duì)密度(空氣=1)4.599；液體相對(duì)密度d4}-122>。1.42。臨界溫度176.3℃。蒸氣壓力(20℃，絕對(duì)壓)0.15 Mpa。比容積(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空氣中爆炸極限1.3％～98％。與水發(fā)生劇烈反應(yīng)。在濕空氣中水解，生成鹽酸霧。有強(qiáng)腐蝕性。
溶解性溶于苯、乙醚等多數(shù)有機(jī)溶劑。
熔點(diǎn)−122 °C(lit.)
沸點(diǎn)8.3 °C(lit.)
密度1,22 g/cm3
蒸氣密度3.5 (vs air)
蒸氣壓1254 mm Hg ( 20 °C)
閃點(diǎn)-37°C
溶解度reacts with H2O
形態(tài)無(wú)色氣體
比重0.76
比重0.94
比重1.22
顏色colorless gas; flammable
爆炸極限值(explosive limit)99%
水溶解性decomposes
水解敏感性9: reacts extremely rapidly with atmospheric moisture - may be pyrophoric - glove box or sealed system required
穩(wěn)定性穩(wěn)定的。極易燃；注意非常寬的爆炸極限。與水、醇類(lèi)、強(qiáng)氧化劑、堿類(lèi)會(huì)急劇地發(fā)生反應(yīng)。
CAS 數(shù)據(jù)庫(kù)4109-96-0(CAS DataBase Reference)
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Dichlorosilane (4109-96-0)
安全數(shù)據(jù)
警示詞危險(xiǎn)
危險(xiǎn)性描述H220-H280-H314-H331
危險(xiǎn)品標(biāo)志F+,T
危險(xiǎn)類(lèi)別碼R12-R14-R23-R34
安全說(shuō)明S26-S36/37/39-S45
危險(xiǎn)品運(yùn)輸編號(hào)UN 2189 2.3
WGK Germany1
RTECS號(hào)VV3050000
F4.5
TSCAYes
DOT Classification2.3 Hazard Zone B (Gas poisonous by inhalation)
危險(xiǎn)等級(jí)2.3
應(yīng)用領(lǐng)域
用途一
用于電子工業(yè)中多晶硅外延生長(zhǎng)以及化學(xué)氣相淀積二氧化硅和氮化硅用途二
用于半導(dǎo)體制造中，尤其是外延法工藝作為硅源。參考質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
參考標(biāo)準(zhǔn)▼
▲
指標(biāo)名稱(chēng)
指標(biāo)
電子級(jí)
硼(B)/(mg/kg)
＜0.3
磷(P)/(mg/kg)＜
0.3
四氯化硅(SiCl4)/%＜
0.1
三氯氫硅(SiHC13)/%＜
0.2
制備方法
方法一
將硅粉和氯化氫按適當(dāng)比例進(jìn)行反應(yīng)，生成二氯二氫硅，經(jīng)蒸餾分離三氯氫硅，把得到的二氯二氫硅進(jìn)行精制，制得電子級(jí)高純二氯二氫硅成品。其Si+2HCl→SiH2C12