1590-87-0
1590-87-0 結(jié)構(gòu)式
基本信息
中文別名
二矽烷乙硅烷
英文別名
Si2H6DISILANE
Silicoethane
disilicoethane
DISILANE, 99.9+%
DISILANE, 99.998%, ELECTRONIC GRADE
所屬類別
化學試劑:硅烷試劑物理化學性質(zhì)
熔點-132°C
沸點-14,5°C
密度0,686 g/cm3
閃點<10°C
溶解度reacts with H2O, ctc, chloroform; soluble in EtOH, benzene
形態(tài)無色氣體
比重0.686
顏色colorless gas; flammable
水溶解性soluble CS2, ethanol, benzene [MER06]
水解敏感性10: reacts extremely rapidly with moisture and oxygen - may be pyrophoric - sealed system required
Merck13,3391
穩(wěn)定性自燃。與氧化劑和鹵素急劇地發(fā)生反應??赡芘c空氣形成爆炸性混合物。
InChIKeyPZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N
CAS 數(shù)據(jù)庫1590-87-0
EPA化學物質(zhì)信息Disilane (1590-87-0)
制備方法
方法1
1.采用硅烷原料氣,經(jīng)流量計進入放電管,在適當溫度、頻率和電壓下,得到含乙硅烷、甲烷和氫的混合氣,將混合氣在不同的冷卻條件下進行吸收,除掉雜質(zhì),可得高純乙硅烷。
2. 甲硅烷經(jīng)輝光放電后聚合生成高級硅烷,用液氮冷卻回收,采用低溫精餾法除去氫和甲硅烷即可。
3. 采用硅烷原料氣,經(jīng)質(zhì)量流量計進入放電管,在適當溫度、頻率和電壓下,生成含一定量乙硅烷、甲烷和氫的混合氣,混合氣在不同的冷卻條件下進行吸收,雜質(zhì)被排出,可得高純乙硅烷。
常見問題列表
化學性質(zhì)
乙硅烷是一種有毒的化合物,在室溫下為氣態(tài)。它的性質(zhì)與乙烷很類似,都是無色易燃的氣體,但是它的硅-硅鍵比乙烷的碳-碳鍵還來的弱,因此比乙烷還不穩(wěn)定。乙硅烷通常是氫很好的來源,只要經(jīng)過簡單的化學反應就可以得到氫。
用途
甲硅烷和乙硅烷在 640 °C下分解,會沉積非晶硅。這個化學氣相沉積過程與光伏器件的制造有關(guān)。它用于生產(chǎn)硅晶圓。
乙硅烷氣體可用于控制 SiC 熱分解生長石墨烯過程中,Si 蒸氣的壓力。 Si蒸氣的壓力會影響生產(chǎn)的石墨烯的質(zhì)量。
生產(chǎn)工藝
硅化鎂法
Mg2Si + HCl → Si2H6+ MgCl2
反應產(chǎn)物為單硅烷、乙硅烷、丙硅烷、丁硅烷的混合物,把它們精制分離后得乙硅烷。
還原法
用氫化鋁鋰等還原劑還原六氯乙硅烷。乙硅烷用低溫精餾和吸附等方法精制。
甲硅烷無聲放電法
甲硅烷經(jīng)輝光放電后聚合生成高級硅烷,用液氮冷卻回收,采用低溫精餾法除去氫和甲硅烷即可。