R14制冷劑,別名氟利昂14、PFC-14,商品名稱有Freon 14等,中文名稱四氟化碳、四氟甲烷,英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane,化學(xué)式CF4,商品名稱Reflube 14。R14屬于FC類物質(zhì)——對臭氧層沒有破壞、但存在溫室效應(yīng);目前對于R14制冷劑的生產(chǎn)、銷售以及在新制冷設(shè)備上的初裝、售后設(shè)備上的再添加均沒有限制。
R14作為一款特種超低溫制冷劑,主要應(yīng)用于要求溫度非常低的深冷設(shè)備中(包括科研制冷、醫(yī)用制冷等),R14同時也是超低溫配合冷媒的重要組分。四氟化碳(四氟甲烷)是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、泄漏檢驗劑、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
R14制冷劑鋼瓶為高壓容器,儲存時應(yīng)遠離火種、熱源、避免陽光直接曝曬,通常儲放于陰涼、干燥和通風的倉庫內(nèi);搬運時應(yīng)輕裝、輕卸,防止鋼瓶以及閥門等附件破損
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