光致產(chǎn)酸劑
用于KrF,ArF
光刻膠產(chǎn)品
分子量:450.43
外觀: 白色結(jié)晶性粉末
熔點(diǎn):169~174℃
溶解性:3%(PGMEA),8%(EL)
含量:≥98%
常州北山化工有限公司
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