本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)主要用于薄膜厚度測(cè)量和表面化學(xué)分析（深度剖析）儀器設(shè)備的檢定/校準(zhǔn)、分析 方法的確認(rèn)與評(píng)價(jià)、技術(shù)仲裁測(cè)量以及測(cè)量質(zhì)量控制等。?

一、 樣品制備?

本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)系通過(guò)原子層沉積技術(shù)在單晶硅基底上生長(zhǎng)二氧化硅納米薄膜成批制備而成，切割形成正方形片狀樣品（10mm×10mm×0.7mm）。?

二、 溯源性及定值方法?

本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)采用兩種國(guó)際公認(rèn)的不同原理方法（掠入射 X 射線(xiàn)反射測(cè)量和橢偏測(cè)量）進(jìn)行定值， 以?xún)煞N定值方法測(cè)量結(jié)果的總平均值作為標(biāo)準(zhǔn)值。通過(guò)使用滿(mǎn)足計(jì)量學(xué)特性要求的測(cè)量方法和計(jì)量 器具，保證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)量值的溯源性。 三、 特性量值及不確定度

四、 均勻性及穩(wěn)定性評(píng)估?

參照 JJF1343 國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范（等效 ISO 指南 35），采用定值方法，按照隨機(jī)抽樣原則對(duì)樣品 進(jìn)行均勻性評(píng)估，評(píng)估結(jié)果表明樣品均勻性良好；采用定值方法，對(duì)樣品進(jìn)行穩(wěn)定性評(píng)估，評(píng)估結(jié) 果表明樣品穩(wěn)定性良好。 本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)自定值日期起有效期 3 年，研制單位將繼續(xù)跟蹤監(jiān)測(cè)該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的穩(wěn)定性，有效期 內(nèi)如發(fā)現(xiàn)量值變化，將及時(shí)通知用戶(hù)。?

五、 包裝、貯存及使用?

本標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)固定放置在氟化聚丙烯圓盒中，圓盒真空密封包裝于鋁箔袋內(nèi)，每盒 1 片。貯存在 陰涼干燥的室溫環(huán)境條件下，運(yùn)輸過(guò)程中必須保持包裝的完整，使用過(guò)程中必須保持樣品表面清潔。