中文名:稀釋劑OK73
英文名:Diluent ok73
中文別名:光阻稀釋劑
純度:單個金屬雜質≤1ppb
貨號:D301826
包裝:250ml
存儲溫度:室溫
產品介紹:
產品介紹:稀釋劑(OK73):70%的 PGME( 單甲基醚丙二醇) 和 30% 的PGMEA( 丙二醇甲醚醋酸酯)組成。產品用途:用于設備管路清洗以及除去晶圓邊緣,背面,以及涂刷機容器杯上的光阻劑
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