中文名:五(二甲氨基)鉭(V)
英文名:Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)
中文別名:鉭二甲基胺
英文別名:19824-59-0|Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)|Tantalum, pentakis(dimethylamino)-|dimethylazanide;tantalum(5+)|dimethyl[tetrakis(dimethylamino)tantalio]amine|Methanamine, N-methyl-, tantalum(5+) salt (5:1)|Pentakis(dimethylamino)tantalum|Ta(NMe2)5|MFCD0163
純度:99.99% metal basis
貨號(hào):P283060
包裝:1g、25g、5g
Cas號(hào):19824-59-0
存儲(chǔ)溫度:充氬
產(chǎn)品介紹:
氮化鉭 (TaN) 薄膜的揮發(fā)性固體 CVD 前體。當(dāng)在沉積過(guò)程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 時(shí),還會(huì)形成氧化鉭 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作為集成電路制造中的柵電介質(zhì)材料具有廣闊的應(yīng)用前景。
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