在OLED面板制造過程中,由于真空蒸鍍環(huán)節(jié)工藝的特殊性,在每次蒸鍍環(huán)節(jié)完成后,面板廠商均需對(duì)掩膜版及蒸發(fā)源進(jìn)行替換,并清理蒸鍍?cè)O(shè)備的腔室內(nèi)壁。在掩膜版、腔室內(nèi)壁及蒸發(fā)源內(nèi),尚附著或沉積了大量的OLED蒸鍍材料,造成了OLED蒸鍍材料的浪費(fèi)。為提高蒸鍍材料的利用效率,國外主流OLED面板廠商普遍將蒸鍍完成后的有機(jī)材料回收并提純后再次使用,提純后的有機(jī)蒸鍍材料能夠達(dá)到符合生產(chǎn)要求的純度及品質(zhì),從而有效地降低面板廠商的生產(chǎn)成本。
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