三甲基硅烷(3MS)
使用經(jīng)過內(nèi)壁鏡面拋光、鈍化處理的碳鋼瓶。容積有10L、47L二種規(guī)格,閥門為CGA660/CGA350/CGA634,兩種規(guī)格容器可分別充裝3KG和15KG產(chǎn)品,還可根據(jù)用戶需求提供不同包裝和接口。
技術(shù)指標(biāo)
材料級三甲基硅烷
成分/雜質(zhì)名稱
產(chǎn)品指標(biāo)
三甲基硅烷
≥99.5 %
不凝氣雜質(zhì)(N2, O2+Ar,CO2, CH4)
≤1.0 %
硅烷
≤0.5 %
氯硅烷
電子級三甲基硅烷
( CH3)3SiH
≥99.99%(不含其他甲基硅烷)
N2
≤10 ppm/v
O2+Ar
≤2ppm/v
CO2
≤5ppm/v
CH4
SiH4
Other Methylsilanes
≤300 ppm/v
Chlorosilanes
安徽艾約塔硅油有限公司
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潘經(jīng)理