半導(dǎo)體制造業(yè)所使用的不同特種氣體大致可以分為五大類：

      (1)易燃性氣體：自燃、易燃、可燃?xì)怏w等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會(huì)燃燒，當(dāng)環(huán)境溫度達(dá)到一定情況下，PH3與B2H6等氣體也會(huì)產(chǎn)生自燃。可燃易燃?xì)怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體引起爆炸燃燒危險(xiǎn)性就越高，如B2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃?xì)怏w有H2、NH3、PH，、DCS、CIF3等等。

      (2)毒性氣體：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對(duì)人體有害、有毒的。其中又以AsH3、B2H6、PH3等氣體的毒性。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO、C4F6等都屬于毒性氣體。

      (3)腐蝕性氣體：這些腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強(qiáng)的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示很強(qiáng)的腐蝕性，如HCI、HF、CIF3等。

      (4)惰性氣體:這些氣體本身一般不會(huì)直接對(duì)人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對(duì)于安全上的要求不如以上其他氣體嚴(yán)格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會(huì)使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2F6、CF4等。

      (5)氧化性氣體：這類氣體有較強(qiáng)的氧化性，一般同時(shí)具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有CIF3、NF3等。 高純工業(yè)氣體的供應(yīng)方式一般有多種，如現(xiàn)場(chǎng)制氣、用管道輸送供氣、槽車輸送供氣、外購氣體鋼瓶或鋼瓶組輸送供氣等。具體采用哪種供氣方式，主要考慮因素是工廠的生產(chǎn)規(guī)模和用氣要求以及周邊地區(qū)的氣體供應(yīng)狀況等，既要做到確保供氣質(zhì)量、運(yùn)行管理方便，還要降低產(chǎn)品的生產(chǎn)成本，以便安全、可靠、高效地供應(yīng)氣體。