超純氣體的品種發(fā)展十分迅速,1981年單一超純氣體120多種,混合超純氣體12類約300多種。中國能生產(chǎn)單一超純氣體十多種,混合超純氣體幾十種。除表中所列主要品種外,單一超純氣體還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、順丁烯、丁二烯等?;旌铣儦怏w為上述單一超純氣體的混合氣,分別有專門的用途,如純氬-氮混合氣用于電光源中鎢絲的還原,純氬-氖混合氣、氬-氦混合氣用于霓虹燈充氣等,還有不少超純混合氣體作為色譜、質(zhì)譜和光譜分析中的標準氣。
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