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產(chǎn)品應(yīng)用制備硅化釩薄膜,用大束流密度的釩金屬離子注入硅,能夠直接合成性能良好的薄層硅化物。隨束流密度的增加,硅化釩相生長,薄層硅化物的方塊電阻RS 明顯下降,當(dāng)束流密度為25μA/cm2 時,Rs 達(dá)到最小值22Ψ,說明連續(xù)的硅化物已經(jīng)形成。X 衍射分析表明,注入層中形成了V3Si 、V5Si3 、V3Si5 和VSi2 四種硅化釩。經(jīng)過退火后,Rs 明顯地下降,Rs 最小可降到9Ψ,電阻率可小到72μΨm ,說明硅化釩薄層質(zhì)量得到了進(jìn)一步的改善,大束流密度注入和退火后,硅化釩相進(jìn)一步生長。大束流密度注入和高溫退火(1200 ℃)仍然具有很低的薄層電阻率,這充分說明硅化釩具很好的熱穩(wěn)定性。透射電子微鏡觀察表明,連續(xù)硅化釩薄層厚度為80nm。
產(chǎn)品實拍圖:
產(chǎn)品包裝圖:
包裝介紹:
1、樣品測試包裝客戶指定(<1kg/袋裝)
2、樣品產(chǎn)品包裝(1kg/袋裝)
3、常規(guī)產(chǎn)品包裝(1kg/2kg/5kg/10kg)
備注:內(nèi):透明PE袋 外:鋁箔袋真空。可根據(jù)客戶要求指定包裝。
產(chǎn)品包裝:本品為充惰氣包裝,密封保存于干燥、陰涼的環(huán)境中,不宜暴露空氣中,防受潮發(fā)生氧化團(tuán)聚,影響分散性能和使用效果;包裝數(shù)量可以根據(jù)客戶要求提供,分裝。
儀器設(shè)備:
物流運輸:
我司指定快遞為德邦/順豐。備注:可根據(jù)客戶要求指定物流公司。
關(guān)于發(fā)票:
我公司提供增值稅專用發(fā)票及普通發(fā)票。因產(chǎn)品價格帶票和不帶票價格上存在差異,如客戶需要發(fā)票需提前聯(lián)系客服,并把開票資料對應(yīng)的信息發(fā)給客服。方便開票。備注:高校研究所及高新企業(yè)我司可提前開票,款到發(fā)貨。
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