中文名稱：三氯氫硅

中文同義詞:硅仿;三氯硅烷;硅氯仿;三氯氫硅;三氯化硅;三氯矽甲烷;三氯甲硅烷;三氯硅烷(又名:三氯氫硅)

英文名稱:Trichlorosilane

CAS NO：10025-78-2 

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)式：Cl3Si

技術(shù)指標(biāo)：

1，外觀，無色透明液體

2，熔點(diǎn)-126.5℃

3，沸點(diǎn)33℃

4，相對密度1.34 

5，含量，≥99.5%

用途

用作高分子有機(jī)硅化合物的原料，也用于儀表工業(yè)，制造有機(jī)硅化合物的原料，也是生產(chǎn)多晶硅的基本原料。

生產(chǎn)方法沸騰氯化法硅粉經(jīng)干燥后加入氯化沸騰爐，與通人爐中的干燥氯化氫氣體在340℃進(jìn)行反應(yīng)。生成的粗三氯氫硅經(jīng)濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅，由蒸餾塔出來的三氯氫硅氣體經(jīng)冷凝，制得三氯氫硅成品。