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殘余氣體分析儀 Hicube RGA
上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA. 四極桿質(zhì)譜 PrismaPro 與 HiCube 渦輪分子泵組的搭配, 質(zhì)量數(shù)范圍 1-300, 高分辨率和靈敏度. 適用于殘余氣體分析, 過程監(jiān)測, 泄漏檢測.
殘余氣體分析儀 Hicube RGA 優(yōu)勢
殘余氣體分析和氦氣泄漏檢測模式
可用于從大氣壓至高真空環(huán)境
高分辨率和靈敏度
通過真空壓力監(jiān)測保護燈絲
進氣系統(tǒng)帶集成式切斷閥
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 Hicube RGA 技術(shù)規(guī)格
渦輪分子泵組 | HiCube? Eco |
功耗 | 170W |
電壓（范圍） | 110 - 240 V; 50 / 60 Hz |
氮氣抽速 | 67 l/s |
前級泵在 50 Hz 時的泵送速度 | 1 m3/h |
極限真空 | <1X10-7 hPa |
真空計 | PKR 361 |
測量范圍 | 1X10-9 至 1X103 hPa |
閥門 | EVN 116 |
氣體流量 | 可調(diào)整, 自 5X10-6 至 3X103 hPa l/s |
進氣口 | DN 16 ISO-KF |
PrismaPro | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 |
檢測器 | 法拉第 Faraday (F) | 電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
質(zhì)量數(shù) amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 |
四極桿直徑／長度 | 6 /125 mm |
最小檢測極限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - |
最小檢測極限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 |
對Ar的靈敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 |
工作壓力 F hPa | 5X10-4 |
工作壓力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 |
對臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm |
操作溫度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
操作溫度 電子 | 5 – 50 °C |
烘烤溫度 分析 | 300 °C |
連接法蘭 | DN 40 CF-F |
保壓時間 | 1 ms – 16 s/amu |
峰比值可重復(fù)性 | ± 0.5 % |
接口 | 以太網(wǎng) |
電源電壓 | 100–240 V AC，50/60 Hz |
HiCube? RGA重量 | 25.5 - 26.2 kg |
殘余氣體分析儀 Hicube RGA 典型應(yīng)用
殘余氣體分析: 對真空系統(tǒng)中殘余氣體的分析, 可以獲知在達到所需的最終壓力或調(diào)節(jié)要求時, 殘余物質(zhì)的組成. 由此可以得出各種有關(guān)系統(tǒng)表面性質(zhì), 脫附行為, 純度和密封性以及工藝氣體成分的結(jié)論. 這將為您提供有關(guān)真空室或真空組件狀態(tài)的重要信息.
泄漏檢測: 上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 具有氦氣泄漏檢測模式, 可以通過軟件控制激活. 此功能可以方便您發(fā)現(xiàn)真空系統(tǒng)中的任何泄漏.
過程監(jiān)控: HiCube RGA 可以在 300u 的測量范圍內(nèi)隨時間觀察任意數(shù)量的選定質(zhì)量強度, 并可對選定的各質(zhì)量分配警報循環(huán)閾值. 如果它們高于或低于所需極限, 則可以通過數(shù)字輸出將信號提供給更高級別的控制系統(tǒng). 因此殘余氣體分析儀 HiCube RGA 能夠提供實時過程觀察和控制功能. EVN 116 氣體計量閥還可以使真空系統(tǒng)中的壓力適應(yīng)相應(yīng)過程需求, 此外, 集成式切斷閥還允許對泄漏設(shè)定點進行快速開/關(guān)控制.
質(zhì)量保證和過程優(yōu)化: 諸如提供氣體成分定量測定, 確定過程氣體純度, 以及監(jiān)測真空鍍膜過程相關(guān)氣體成分等能力, 殘余氣體分析儀 HiCube RGA 是過程記錄和質(zhì)量保證中的重要工具. 即使測量正在執(zhí)行, 所有測量值也會得到存儲, 并且可以在不停止測量的情況下追蹤. 即使仍在執(zhí)行測量, 也可以導(dǎo)出測量結(jié)果以進行進一步分析.
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伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。
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上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。
上海伯東作為國際知名真空品牌指定授權(quán)代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，100% 使用原廠進口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師；擁有完全的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務(wù)。