1857年德國化學(xué)家H Buff發(fā)現(xiàn)硅烷,在以后的100年左右的時間里硅烷只是少數(shù)研究者在實驗室里研究的對象,沒有任何用途。20世紀(jì)50年代半導(dǎo)體科技崛起,人們開始考慮硅烷的特長,硅烷開始在電子工業(yè)中得到應(yīng)用。進入80年代, 硅烷的應(yīng)用情況發(fā)生了重大變化。隨著一系列新技術(shù)的出現(xiàn)或者說利用硅烷開發(fā)新產(chǎn)品的成功,硅烷用量急劇增加。每年數(shù)以千噸計的硅烷在工廠里被加工成超純半導(dǎo)體硅,數(shù)以百噸計的氣體被用于制造各種各樣的新材料和新器件??紤]到在這些應(yīng)用中大多數(shù)器件每個所耗用的氣體量只有毫克甚至微克,由硅烷制成的薄膜厚度都是微米數(shù)量級,可見上述硅烷量不是一個小的數(shù)字。進入90年代, 更大量的新功能器件問世,其中已大規(guī)模開發(fā)的有超高速、超大容量計算機芯片、高清晰度平面顯示器、高效率低成本太陽能電池、高性能陶瓷發(fā)動機零件、各種特異功能的傳感器等等,更多更新的器件還在涌現(xiàn),這些器件都要用到硅烷。
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