923-34-2
923-34-2 結(jié)構(gòu)式
物理化學(xué)性質(zhì)
熔點(diǎn)-31.9°C
沸點(diǎn)184°C
密度1.2600
折射率1.5380
形態(tài)液體
EPA化學(xué)物質(zhì)信息Indium, triethyl- (923-34-2)
常見(jiàn)問(wèn)題列表
性質(zhì)
三乙基銦學(xué)式(C2H5)3In。分子量202.01。無(wú)色液體。熔點(diǎn)-32℃。沸點(diǎn)144℃。在空氣中自燃。溶于有機(jī)溶劑。在苯溶液中呈單體。與冷水作用生成二乙基氫氧化銦和乙烷，與90℃熱水作用則完全分解。
用途
高純?nèi)一熓墙饘儆袡C(jī)化學(xué)氣相沉積(簡(jiǎn)稱MOCVD)、金屬有機(jī)分子束外延(簡(jiǎn)稱MOMBE)等技術(shù)生長(zhǎng)半導(dǎo)體微結(jié)構(gòu)材料的銦源。在半導(dǎo)體工業(yè)中，它單獨(dú)或與至少一種第五主族元素(主要是磷和砷)的氣態(tài)氫化物沉積到合適的晶體基質(zhì)上，可制成性能極其優(yōu)良的半導(dǎo)體材料，在國(guó)外被廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)中制造紅外控測(cè)器、微波振蕩器、半導(dǎo)體光發(fā)射二級(jí)管等的核心原件。